फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करना कोई साधारण चरण नहीं है… यह तो एक “तापीय प्रक्रिया” है। हर बार, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों को उसी सटीक तापमान सीमा में ही किया जाना आवश्यक है। अगर ऐसा न हो, तो लिथोग्राफी प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है… इसका परिणाम उत्पादन दर में कमी के रूप में सामने आता है।
मीडियम-वेव क्वार्ट्ज हीटर ट्यूबें, लगातार काम करने के दौरान भी उस सटीक तापमान सीमा को बनाए रखने में मदद करती हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
मीडियम-वेव क्वार्ट्ज, तेज़ एवं सटीक तापन प्रदान करता है… तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है। वेफर के समस्त हिस्सों में तापमान में ±0.1°C की सटीकता आवश्यक है… यह क्रिटिकल आयामों की रक्षा करता है, एवं फिल्म पर लगने वाले तनाव को भी नियंत्रित रखता है।
क्वार्ट्ज सामग्री, क्लास 1–100 क्लीनरूमों में उपयोग हेतु उपयुक्त है… इससे कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं गैस उत्सर्जन भी कम होता है। 7×24 घंटे लगातार काम करने के दौरान भी इसकी डिज़ाइन ऐसी है कि कोई अप्रत्याशित रुकावट न हो। फील्ड डेटा से भी यह साबित होता है कि यह उपकरण हजारों घंटों तक स्थिर रूप से काम कर सकता है।
व्यवहार में यह क्यों कारगर है?
फोटोरेजिस्ट, तापीय परिस्थितियों के प्रति संवेदनशील है… नियमित तापन प्रक्रिया से रीवर्किंग कम हो जाती है, अपशिष्ट भी कम हो जाता है… एवं एक्सपोज़र भी नियंत्रण में रहता है। मीडियम-वेव हीटिंग तेज़ी से काम करती है… इससे साइकल टाइम कम हो जाता है, लेकिन नियंत्रण बना रहता है। गर्मी स्वच्छ एवं शुष्क होती है… इससे फोटोरेजिस्ट का चिपकना ठीक रहता है, एवं विलायक भी ठीक से हट जाता है।
ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… क्योंकि अनावश्यक गर्मी उत्पन्न नहीं होती… ट्यूबों की आवश्यकता भी कम हो जाती है… जिससे रखरखाव में भी कमी आती है… खासकर तब, जब उच्च मात्रा में उत्पादन किया जा रहा हो।
ध्यान रखने योग्य बातें:
इंस्टॉलेशन के दौरान सही दूरी एवं दिशा का ध्यान रखना आवश्यक है… क्योंकि विकिरण की दिशा महत्वपूर्ण है… माउंटिंग की सटीकता से ही एकरूपता बनी रहती है… अपने उपकरणों, ऊर्जा स्रोतों एवं नियंत्रण तंत्रों की जाँच अवश्य करें… जब लक्ष्य ±0.1°C हो, तो PID ट्यूनिंग भी आवश्यक है।
थर्मल शील्डिंग एवं नियंत्रित शीतलन की व्यवस्था आवश्यक है… ताकि पड़ोसी मॉड्यूलों की रक्षा हो सके… क्वार्ट्ज सतह को भी किसी क्लीनरूम घटक की तरह ही मानें… संपर्क से बचें, संदूषण को नियंत्रित करें, एवं कणों की संख्या को कम रखने हेतु नियमित निरीक्षण आवश्यक है।