फर्श पर, 24/7 काम करने के दौरान, यह उपकरण किसी भी तापीय समस्या को संभाल नहीं पाता। अगर कोई हीटर एलिमेंट खराब हो जाता है, तो सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान तापमान निर्धारित मानों से भटक जाता है। लिथोग्राफी प्रक्रिया में त्रुटियाँ आ जाती हैं, वेफर बर्बाद हो जाते हैं, एवं कार्यक्रम में देरी हो जाती है। ऐसी स्थिति से बचने हेतु हम एक्सेलिस हीटर एलिमेंट का उपयोग करते हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
यह एलिमेंट वेफर-स्तरीय तापीय समानता को बनाए रखने हेतु डिज़ाइन किया गया है; इससे बेकिंग प्लेट का तापमान निर्धारित मानों से ±0.1°C के भीतर ही रहता है। क्वार्ट्ज सामग्री एवं शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक के कारण तापमान में तेज़ एवं नियंत्रित परिवर्तन होता है – जो कि उन्नत फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं हेतु आवश्यक है। यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग के लायक है; इससे कोई कण नहीं उत्पन्न होता, एवं इसकी सतह तीव्र घोलों से भी सुरक्षित रहती है। इसकी उम्र 5,000+ घंटे है, एवं इसका आउटपुट 5% से भी कम भटकता है।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में इसकी उपयोगिता:
उच्च मात्रा में लिथोग्राफी करते समय, एकमात्र स्वीकार्य विकल्प तो बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के काम करना ही है। यह एलिमेंट सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक दोनों प्रक्रियाओं में नियमितता बनाए रखता है; इससे तापमान में होने वाले परिवर्तनों के कारण कोई समस्या नहीं आती। परिणामस्वरूप, बेकिंग प्रक्रिया स्थिर रहती है, पुनः कार्य करने की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं कुशल एवं नियंत्रित ताप संचरण के कारण ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। इसे इंस्टॉल करें, आवश्यकता पड़ने पर ही इसे बदलें… कोई ट्यूनिंग की आवश्यकता नहीं है।
ध्यान देने योग्य बातें:
इस एलिमेंट को एक्सेलिस उपकरण के ठीक वही वेरिएंट, वोल्टेज एवं कनेक्टर इंटरफेस के अनुरूप ही इंस्टॉल करें। यदि इंस्टॉलेशन/माउंटिंग संबंधी मान गलत हों, तो तापीय समानता बिगड़ जाती है, एवं एलिमेंट की उम्र भी कम हो जाती है। इंस्टॉलेशन के बाद, बेकिंग चैंबर के तापमान की जाँच फिर से करें, एवं एलिमेंट के संबंध में तापमान सेंसर की स्थिति भी जाँचें। थोड़ा सा भी विचलन फोटोरेजिस्ट के मानों को प्रभावित कर सकता है।