Man kann sehen, wie die Wafer aus dem Endspülvorgang herauskommen – und man weiß sofort, was als Nächstes passiert: Die Uhr beginnt zu ticken, sobald die Wafer das Wasser verlassen. Eine herkömmliche Trocknungsmethode, bei der die Temperatur auf der Oberfläche um auch nur 0,5 °C abweicht, kann zu Spannungen in der Schichtstruktur der Wafer führen, zu Defekten im Photoresist sowie zu Bildung von Partikeln, die an der Oberfläche haften bleiben. Unser Ultra-Precision-Trocknungssystem basiert auf einem festgelegten Standard: eine Temperaturgenauigkeit von ±0,1 °C über die gesamte Fläche der Wafer – in jedem einzelnen Zyklus.
Was wirklich wichtig ist
Im Kern handelt es sich um ein staubfreies, sauberkeitskonformes Wärmeträgermodul, das eine Temperaturgenauigkeit von ±0,1 °C gewährleistet. Die Regelung erfolgt über Hochauflösungssensoren sowie einen Luftstrom mit geringer Turbulenz – dadurch entstehen keine Hotspots oder kalte Stellen. Dadurch entstehen wiederholbare Temperaturprofile, die innerhalb der optimalen Grenzen für den Trocknungsprozess liegen. Zudem wird die Energieverbrauch in Echtzeit überwacht – so können Sie den Energieverbrauch pro Charge, pro Maschine und pro Schicht genau erkennen.
Warum das wichtig ist
Temperaturgenauigkeit ist entscheidend für die Kontrolle der Kritischer Dimensionen sowie für die Qualität der Wafer. Wenn die Oberfläche der Wafer innerhalb der Spezifikationen bleibt, reduziert sich die Anzahl der Nacharbeiten und des Ausschusses. Die Energiebilanz lässt sich somit gezielt steuern – ohne dass die Temperaturgenauigkeit beeinträchtigt wird. Zudem kann die Wartung rechtzeitig durchgeführt werden, bevor es zu Problemen kommt. Das Ergebnis? Weniger Partikel, konstante Linienbreiten und ein sinkender Energieverbrauch pro Wafer.
Ein paar praktische Hinweise
Das Modul benötigt Strom- und Abgasanschlüsse, die den Anforderungen eines Reinraumbereichs entsprechen. Es kann über Standardanschlüsse an Ihre bestehenden Prozesssteuerungen angeschlossen werden. Planen Sie außerdem Zeit ein, um die Einstellungen an Ihren Photoresist und die Trocknungsparameter anzupassen. Ein Nachteil ist, dass diese hohe Temperaturgenauigkeit nur wenig Spielraum für Schwankungen im Umfeld zulässt – daher muss die Umgebungstemperatur konstant gehalten werden.
Das Ergebnis
Sie erhalten eine Prozessreproduzierbarkeit, auf die Sie sich verlassen können – zusammen mit einer Energiemessung, die nicht nur nützlich ist, sondern auch dabei hilft, den Prozess optimal zu steuern.