In der Fertigungshalle führen thermische Schwankungen bei der Aktivierung der Dotierstoffe sowie bei den Prozessen des Weich- und Hartbrennens nicht nur dazu, dass die Ausbeute abnimmt – sie vernichten sie sogar ganz. Wir haben unseren Infrarotheizer für die Aktivierung der Dotierstoffe so konstruiert, dass er die Temperatur genau dort hält, wo sie im Prozess wirklich benötigt wird – und nicht dort, wo sich die Temperatur durch andere Faktoren verschiebt.
Was technisch wichtig ist:
Unser Kurzwellen-Infrarotstrahler heizt schnell und direkt – mit einer Homogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1°C. Dadurch bleiben die Aktivierungsprofile stabil und die Bedingungen während des Weich- und Hartbrennens konstant. Das Quarz-Halogen-Modul sorgt zudem für eine genaue Kontrolle des Spektrums – dadurch kann man die gewünschte Temperatur schnell erreichen, ohne dass der Energieverbrauch zu hoch wird.
Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 1–100 ist bereits integriert: Materialien mit geringer Ausgasung, versiegelte Bauteile sowie eine geometrische Anordnung, die Partikel verhindert, tragen dazu bei, dass die Störungen, die bei der Lithografie unerwünscht sind, minimiert werden. Die Wiederholgenauigkeit ist entscheidend – von Charge zu Charge, von Setpunkt zu Setpunkt.
Warum das in der Fertigungshalle wichtig ist:
In der Praxis bedeutet das ein Weichbrennen, bei dem Lösungsmittel entfernt werden können, ohne dass die Oberfläche beschädigt wird. Das Hartbrennen erfolgt ohne Wiederaufweichen oder Bildung von Ablagerungen. Die Aktivierung der Dotierstoffe erfolgt dabei in einem stabilen Verlauf – dadurch bleibt die Diffusionsvarianz über die gesamte Waferfläche gleichmäßig.
Es gibt weniger Nacharbeiten. Die Kontrolle über die Dicke der Schicht ist besser. Die Zykluszeit lässt sich besser planen. Der Energieverbrauch sinkt, da die Reaktionszeiten kurz sind und der Standby-Verbrauch minimal ist. Zudem funktioniert das Gerät rund um die Uhr – ohne Hotspots oder Probleme beim Starten.
Was man berücksichtigen muss:
Bei der Installation muss der Heizer an den optischen Weg sowie die Kühlungssysteme der Fertigungshalle angepasst werden. Die Ausrichtung der Reflektoren sowie der Kühlfluss müssen während der Inbetriebnahme überprüft werden.
Es gibt eine kurze Aufwärmphase, bevor die gewünschte Homogenität erreicht wird. Regelmäßige Kalibrierungen sind notwendig, um die Homogenität über lange Zeiträume aufrechtzuerhalten.