Nắp đậy cuối bằng gốm cho bộ phát hồng ngoại
On the litho floor, photoresist không quan tâm đến ý định—nó phản ứng với nhiệt độ. Nếu bạn để nhiệt độ soft bake chênh lệch chỉ 1°C trên toàn bộ...
Bóng đèn phát xạ hồng ngoại gần (NIR)
Trên sàn sản xuất, sự trôi nhiệt trong quá trình nướng photoresist hoặc làm khô wafer không chỉ là kẻ giết chết năng suất. Nó làm thay đổi kích thước...