Loại bỏ ozone trong quá trình gia nhiệt sản xuất chất bán dẫn
Việc sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi phải kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Nhưng trong thời gian dài, chúng ta gặp phải một vấn đề khó chịu: các phương pháp gia nhiệt truyền thống thường gây lãng phí năng lượng và tạo ra ozone. Để giải quyết vấn đề này, các nhà máy buộc phải sử dụng những hệ thống lọc khí khổng lồ, tiêu tốn nhiều năng lượng, chỉ để đảm bảo không khí trong phòng được an toàn.
Chúng tôi đã tìm ra cách tốt hơn. Bằng cách sử dụng đèn hồng ngoại, chúng ta có thể ngăn chặn việc phân rã các phân tử oxy. Nói một cách đơn giản, đó là không còn ozone nữa. Chúng ta loại bỏ vấn đề ngay từ nguồn gốc, thay vì cố gắng xử lý nó sau này.
Tiết kiệm năng lượng (và tránh mệt mỏi)
Nếu bạn muốn đạt được mục tiêu “nhà máy xanh”, thì yếu tố quan trọng nhất chính là lượng năng lượng tiêu thụ cho mỗi chiếc wafer được xử lý. Hệ thống hồng ngoại của chúng tôi sử dụng nhiệt độ tỏa ra trực tiếp. Bạn không cần phải lãng phí năng lượng để làm nóng toàn bộ không khí trong buồng; bạn chỉ cần tập trung nhiệt lượng vào chính bề mặt vật liệu cần xử lý. Điều này hoàn toàn khác biệt so với những lò nướng truyền thống, vốn lan tỏa nhiệt lượng ra mọi hướng.
Hơn nữa, những chiếc đèn này có thể đạt đến nhiệt độ mong muốn trong vài giây thôi. Không cần phải chờ đợi lâu để lò nóng lên.
Thực tế
Đây không phải là phép màu gì cả. Ánh sáng hồng ngoại cường độ cao tạo ra lượng nhiệt lớn. Nếu bạn muốn đạt được tốc độ gia nhiệt nhanh, bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt đó. Nếu không, toàn bộ thiết bị sẽ bị quá nhiệt. Chúng tôi thường khuyến nghị kết hợp hệ thống này với bộ điều khiển PID. Điều này giúp kiểm soát lượng năng lượng tiêu thụ và ngăn chặn nhiệt độ vượt mức cho phép.
Không khí trong lành hơn trong phòng sạch
Điều tuyệt vời nhất là khi không còn ozone nữa, bạn không cần phải sử dụng hệ thống thông gió mạnh để loại bỏ khí độc. Các thiết bị xử lý không khí có thể nghỉ ngơi. Việc sử dụng ít năng lượng hơn cũng giúp giảm lượng khí thải carbon. Đối với các kỹ sư, đây là giải pháp đơn giản: họ có thể có quy trình sản xuất sạch hơn, mà không cần phải lắp đặt những thiết bị lọc hóa học phức tạp. Nó thực sự hiệu quả.