Waferlerin Kirlenmesi Sorununu Önlemek
Dürüst olalım: Yüksek kapasiteli üretimde, kızılötesi lambanın patlaması düşüncesi bile her mühendisi uykusuz bırakmaya yetiyor.
Sorun sadece ısıtıcının çalışmayı bırakması değil; asıl felaket bundan sonra meydana gelenlerdir. Kuvars tüpü patladığında, cam parçaları ve kimyasal maddeler wafer yüzeylerine saçılır. Bir kez böyle bir olay yaşandığında, üretim veriminiz ciddi şekilde düşer.
İşte bu yüzden IR sistemlerimizi, “en kötü senaryoların” işinizi berbat etmesini engelleyecek şekilde tasarlıyoruz.
Güvenlik İçin “İdeal Nokta”
Lambanın nerede konumlanması gerektiğini sadece tahmin etmiyoruz; termal gradyenti de dikkate alıyoruz. Eğer lamba çok yakındaysa, ısı çok yoğun olur. Bu da kuvars üzerinde lokal olarak yüksek sıcaklık noktalarının oluşmasına neden olur ve sonunda tüp çatlar.
Bu yüzden lamba ile wafer arasında belirli bir mesafe bırakıyoruz. Bu sayede radyasyon eşit şekilde dağılır ve tüp üzerindeki baskı azalır; ancak işleminizin hızlı bir şekilde gerçekleşmesi sağlanır.
Atıkları Dışarıda Tutmak
Azami gaz salınımını önlemek için yüksek saflıkta füzyon kuvarsı kullanıyoruz. Ama burada durmuyoruz. Fiziksel bir bariyer veya özel bir koruma çerçevesi kullanılmasını öneriyoruz. Bunu bir güvenlik kafesi olarak düşünün. Bu sayede lamba sıkıca sabitlenir ve zamanla sarkmasını engellenir.
Eğer tüp sonunda yanarsa, koruma sistemleri parçaları yakalayarak silikon yüzeylerinin zarar görmesini engeller. Kesinlikle cam parçalarının silikon yüzeylerine düşmesine izin vermez.
Dengeyi Sağlamak
Daha yüksek güç yoğunluğu daha hızlı ısınma anlamına gelir. Bu, üretim süresi açısından harika görünse de, kuvars üzerinde büyük bir baskı oluşturur. Eğer birkaç saniye kazanmak için maksimum gücü kullanırsanız, lambanın soğutma sisteminin de güçlendirilmesi gerekir. Eğer elektrotlar aşırı ısınırsa, contalar hasar görür.
Her şey bir denge meselesidir. Genellikle üretim hızını makul bir güvenlik mesafesiyle dengelemeyi öneriyoruz. Bu, planlanmayan arızalar ve atık waferlerle uğraşmaktan çok daha iyidir.