Het stoppen van het nachtmerriebeeld van vervuiling van de wafers
Laten we eerlijk zijn: in een productieomgeving met hoge belasting is alleen al de gedachte dat een infraroodlamp kapot gaat voldoende om elke ingenieur uit zijn slaap te houden.
Het gaat niet alleen om het feit dat de heater het begint te begeven. De echte ramp is wat er daarna gebeurt. Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, vallen er stukjes glas en chemische stoffen op de oppervlakken van de wafers. Eén enkele storing kan al leiden tot grote verliezen in productie.
Daarom bouwen we onze IR-systemen zodanig dat deze ‘ergste scenario’s’ geen negatieve gevolgen hebben voor de productie.
De ‘ideale’ veiligheidspositie voor de lamp
We bepalen niet zomaar waar de lamp moet staan. We kijken eerst naar de thermische verschillen. Als de lamp te dichtbij staat, wordt de hitte te intens. Dit kan leidden tot oververhitting van het kwartsmateriaal, waardoor deze kan barsten.
We maken dus gebruik van een specifieke bufferzone tussen de lamp en de wafers. Hierdoor wordt de straling gelijkmatig verspreid, zodat de buis geen stress ervaart. Tegelijkertijd blijft de snelheid van het verhitten behouden, wat nodig is voor het proces.
Het voorkomen van vuil op de wafers
We gebruiken hoogzuiver gefuseerd kwarts om uitgasingen tot een minimum te beperken. Maar dat is nog niet alles. We raden ook aan om een fysieke barrière of een speciaal ontworpen beschermingsframe te gebruiken. Dit zorgt ervoor dat de lamp goed beschermd wordt en dat het materiaal niet beschadigt raakt na verloop van tijd.
Als een buis toch kapotgaat, vangt het beschermingsframe de brokstukken op. Er zullen geen stukjes glas op de siliciumwafers terechtkomen. Punt.
Het vinden van het juiste evenwicht
Hogere vermogensdichtheid betekent sneller verwarming. Dat klinkt goed voor de productietijd, maar het legt wel veel druk op het kwartsmateriaal.
Als je probeert het maximale vermogen te bereiken om een paar seconden te besparen, moet je de koelingsstroom rondom de lamp verhogen. Als de elektroden te heet worden, zal de afsluiting faillieten.
Het gaat dus om een balans vinden. We raden aan om de productiesnelheid te combineren met een veilige afstand tussen de lamp en de wafers. Dat is veel beter dan te maken te krijgen met onverwachte stilstand en een hoop kapotte wafers.