Het voorkomen van energieverlies in uw semiconductorfabriek
In een semiconductorfabriek is het verspillen van energie niet alleen een budgetprobleem – het is ook een groot probleem. Wanneer er plakjes silicium worden verhit, gaat het er niet alleen om de vermogenssterkte op te voeren. Het is belangrijk dat de energie daadwerkelijk terechtkomt op het silicium, in plaats van dat de binnenkant van de machine wordt opgewarmd.
Daarom maken we gebruik van reflectoren die bedekt zijn met goud. Dit is een eenvoudige manier om te voorkomen dat energie naar buiten lekt en om ervoor te zorgen dat de energie rechtstreeks op het silicium terechtkomt.
Waarom goud?
Denk maar aan een gewone kwartslamp: deze geeft warmte af in alle richtingen. De meeste energie verdwijnt zomaar in de lucht. Door een dunne laag hoogzuiver goud toe te voegen aan de reflector, veranderen we dit scenario. Goud weerspiegelt infrarode golflengten zeer goed – er wordt meer dan 98% van de energie teruggeworpen. In plaats van een verspreide warmtestraal, krijgt u dus een geconcentreerde straal. Elke watt energie die u gebruikt, heeft dus effect op het oppervlak van het silicium.
De nadelen
U kunt deze reflectoren echter niet zomaar in elke machine gebruiken. Omdat ze zo efficiënt zijn, neemt de warmtedruk op het silicium snel toe. Als het koelsysteem dit niet aankan, kunnen er problemen ontstaan: de randen van het silicium kunnen beschadigen of de sensoren kunnen geschaad raken.
Om dit te voorkomen, gebruiken we meestal precisie-stroomvoorzieningen. Hierdoor blijft de temperatuur onder controle en voorkomt u dure fouten.
Wat dit betekent voor de engineers
Voor de engineers die de machines bedienen, is dit een grote vooruitgang. De tijd die nodig is om de machines op temperatuur te brengen, wordt korter. Bovendien kan men vaak de gewenste temperatuur bereiken met minder energie. Het HVAC-systeem in de schone ruimte zal u hier dankbaar voor zijn. Het is een slimme manier om meer plakjes silicium te verwerken, zonder dat het hele verwarmingssysteem opnieuw moet worden ontworpen.