Menghilangkan Ozon dalam Proses Pemanasan Semikonduktor
Proses pembuatan semikonduktor memerlukan kawalan suhu yang tepat. Namun, untuk waktu yang lama, kita menghadapi masalah yang menjengkelkan: kaedah pemanasan tradisional cenderung menyebabkan kebocoran tenaga dan penghasilan ozon. Untuk mengatasinya, kilang-kilang perlu menggunakan sistem pembersih yang sangat berkuasa agar udara tetap bersih.
Kami telah menemui cara yang lebih baik. Dengan menggunakan lampu inframerah yang tidak menggunakan panjang gelombang 185nm, molekul oksigen tidak akan terpecah. Dengan kata lain, tiada lagi ozon yang dihasilkan. Masalah ini dapat diatasi dari awal, bukannya cuba membersihkannya kemudian.
Menjimatkan Tenaga
Jika anda ingin mencapai sasaran “kilang hijau”, segalanya bergantung pada jumlah kilowatt-jam tenaga yang digunakan untuk memanaskan setiap wafer. Sistem inframerah yang kami gunakan menggunakan haba radiasi secara langsung. Anda tidak perlu membuang tenaga untuk memanaskan udara di dalam bilik tersebut; haba hanya dikenakan pada permukaan substrat sahaja. Ini jauh lebih efisien berbanding ketuhar konvensional yang membuang haba ke semua arah.
Selain itu, lampu ini dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Tidak perlu menunggu lama untuk proses pemanasan selesai.
Realiti yang Harus Dihadapi
Ini bukanlah penyelesaian ajaib. Cahaya inframerah yang berintensiti tinggi menghasilkan haba yang sangat tinggi. Jika anda ingin menggunakan sistem yang cepat untuk memanaskan bahan, anda perlu pastikan sistem penyejukan mampu menghadapinya. Jika tidak, komponen lain dalam mesin akan menjadi terlalu panas. Kami biasanya menyarankan penggunaan pengawal PID untuk mengawal suhu dan mengelakkan ia daripada melebihi had yang ditetapkan.
Udara Bersih di Bilik Bersih
Yang terbaik ialah apabila ozon tidak dihasilkan lagi. Dengan cara ini, anda tidak perlu menggunakan sistem ventilasi yang kuat untuk mengeluarkan gas berbahaya. Unit pengendalian udara juga boleh berehat seketika. Penggunaan tenaga yang lebih sedikit bermakna jejak karbon yang dihasilkan juga lebih rendah.
Bagi para jurutera, ini merupakan penyelesaian yang mudah. Mereka dapat menggunakan proses yang lebih bersih tanpa perlu menggunakan alat pembersih kimia yang rumit. Ia simply works.