Menghilangkan Ozon dalam Proses Pemanasan di Lingkungan Fabrikasi Semikonduktor
Pembuatan semikonduktor memang membutuhkan pengaturan suhu yang sangat tepat. Namun, selama ini kita menghadapi masalah yang mengganggu: metode pemanasan tradisional cenderung menyebabkan kebocoran energi dan menghasilkan ozon. Untuk mengatasi hal ini, pabrik-pabrik harus menggunakan sistem penyaring udara yang membutuhkan banyak energi agar udara tetap bersih.
Kami menemukan cara yang lebih baik. Dengan menggunakan lampu inframerah yang tidak menggunakan panjang gelombang 185 nm, molekul oksigen tidak akan terpecah. Dengan kata lain, tidak akan ada ozon yang dihasilkan. Masalahnya dapat diatasi sejak awal, bukan setelahnya.
Menghemat Energi
Jika Anda ingin mencapai tujuan “Pabrik Hijau”, hal tersebut bergantung pada jumlah kilowatt-jam energi yang digunakan per wafer yang diproses. Sistem inframerah yang kami gunakan menggunakan panas radiasi langsung. Dengan demikian, energi tidak terbuang sia-sia untuk memanaskan seluruh udara di dalam ruangan; panas hanya diberikan pada bahan yang diproses saja. Ini jauh lebih baik daripada oven konveksi tradisional yang menyebarkan panas ke mana-mana.
Selain itu, lampu inframerah ini dapat mencapai suhu target dalam hitungan detik. Tidak perlu menunggu waktu lama agar suhu mencapai titik target.
Realitasnya
Ini bukanlah solusi ajaib. Lampu inframerah berintensitas tinggi memang menghasilkan panas yang sangat tinggi. Jika Anda ingin menggunakan sistem ini untuk proses pemanasan yang cepat, Anda perlu memastikan bahwa sistem pendinginan mampu menangani panas tersebut. Jika tidak, bagian lain dari alat tersebut akan overheating. Kami biasanya merekomendasikan penggunaan kontroler PID agar suhu tetap terkendali.
Udara yang Lebih bersih di Ruang Kerja Bersih
Hal terbaik adalah ketika ozon tidak lagi dihasilkan. Dengan demikian, tidak perlu menggunakan sistem ventilasi yang kuat untuk menghilangkan gas beracun. Unit pengolahan udara pun bisa beristirahat sejenak. Penggunaan daya yang lebih rendah berarti jejak karbon yang lebih kecil.
Bagi para insinyur di lapangan, ini merupakan solusi yang sederhana. Proses produksi menjadi lebih efisien, tanpa perlu menggunakan alat penyaring kimia yang kompleks. Cara ini sangat efektif.