चिप निर्माण में कार्बन उत्सर्जन कम करना: सोने से लेपित आईआर लैंपों का जादुई प्रभाव
यदि आप सेमीकंडक्टर निर्माण केंद्रों में कार्बन उत्सर्जन को कम करना चाहते हैं, तो आपको पहले ही ऊष्मा संबंधी समस्याओं पर ध्यान देना होगा। पारंपरिक हीटिंग व्यवस्थाएँ बेकार ही हैं… ऐसा लगता है, जैसे पूरे रसोईघर को गर्म करके केवल एक ही वस्तु को गर्म करने की कोशिश की जा रही हो।
इसीलिए हम सोने से लेपित इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं। ये लैंप वेफरों के प्रसंस्करण हेतु आवश्यक ऊष्मा प्रदान करते हैं, बिना अतिरिक्त ऊर्जा को बर्बाद किए।
सोने का उपयोग क्यों?
सामान्य क्वार्ट्ज ट्यूब तो ठीक हैं, लेकिन वे ऊर्जा को हर जगह फैला देते हैं। इस समस्या को दूर करने हेतु हम ट्यूबों की सतह पर पतली सोने की परत लगाते हैं।
यह सोने की परत ऊर्जा को परावर्तित करने में मदद करती है… इससे ऊर्जा सीधे वेफर तक पहुँचती है। इससे तापमान तुरंत ही बढ़ जाता है।
सबसे अच्छी बात यह है कि मशीनों का चेसिस ओवन जैसा नहीं बन जाता… चूँकि ऊष्मा केंद्रित रहती है, इसलिए कूलिंग फैनों को अत्यधिक गति से काम करने की आवश्यकता नहीं होती… इससे शोर कम होता है, तापमान कम रहता है… और मशीनें बेहतर तरीके से काम करती हैं।
“ट्विन ट्यूब” तकनीक
हम केवल एक ही ट्यूब का उपयोग नहीं करते… बल्कि दो ट्यूबों का उपयोग करते हैं। इससे सतह का क्षेत्रफल दोगुना हो जाता है, लेकिन स्थान की आवश्यकता नहीं बढ़ती।
इससे हम अधिक वॉटेज का उपयोग कर सकते हैं… बिना ट्यूबों के खराब होने की चिंता किए। क्लीनरूम में यह बहुत ही फायदेमंद है… क्योंकि इससे ऊष्मा समान रूप से वेफर पर पड़ती है… कोई असामान्य ठंडे बिंदु नहीं बनते।
लेकिन ध्यान रखें कि आपके पावर सप्लाई पर भी ध्यान देना आवश्यक है… जब इतनी अधिक ऊर्जा का उपयोग किया जाता है, तो वायरिंग पर दबाव पड़ता है… यदि टर्मिनल उचित न हों, तो वोल्टेज में कमी आ जाती है… और ऐसी स्थिति में हीटिंग प्रणाली काम नहीं कर पाती।
कारखानों को हरित बनाना
यही तो सबसे बड़ा लाभ है… पारंपरिक हीटिंग व्यवस्थाओं के बजाय इन आईआर लैंपों का उपयोग करने से वेफरों को गर्म करने में लगने वाला समय मिनटों से कम होकर सेकंडों में ही हो जाता है।
यह प्रति वेफर खर्च होने वाली ऊर्जा में भारी कमी है।
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि उन्हें आसानी से उपयोग में लाया जा सके… आपको अपनी मशीनों को तोड़ने या नए सिरे से निर्माण करने की आवश्यकता नहीं है… आप बस ट्यूबों को बदल देते हैं… ऊर्जा को सीधे वेफर पर ही भेज देते हैं… और उस ऊर्जा के लिए भुगतान भी नहीं करना पड़ता।