फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट बेकिंग के दौरान 1°C का अंतर महज़ मॉनिटर पर दिखने वाला एक छोटा सा बदलाव ही नहीं है; इसके कारण वायरलाइनों में विचलन, एचिंग प्रक्रिया में समस्याएँ, एवं अपशिष्ट वेफर भी उत्पन्न होते हैं। हमने ऐसी अनियमितताओं को दूर करने हेतु सेमीकंडक्टर-विशेष इन्फ्रारेड हीटिंग लैंप विकसित किए हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इनके द्वारा ऊष्मा सीधे वेफर एवं सब्सट्रेट में पहुँचती है। इससे उत्तरदायित्व का समय कुछ सेकंड ही होता है, एवं बेकिंग प्रक्रिया के दौरान वेफर की सतह पर तापमान में ±0.1°C के भीतर ही विचरण होता है। ऐसी सटीकता के कारण लिथोग्राफी प्रक्रिया में आवश्यक मापदंडों का बेहतर नियंत्रण संभव होता है, एवं एचिंग के बाद भी वेफरों की गुणवत्ता स्थिर रहती है।
यह सिस्टम क्लीनरूम-योग्य है; क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी इसका उपयोग किया जा सकता है। स्थिर अवस्था में इस सिस्टम में कणों की संख्या शून्य ही रहती है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक इसका उपयोग करने पर भी इंटेन्सिटी में 5% से भी कम विचलन होता है; इसलिए इसकी देखभाल कम ही आवश्यक है, एवं इसे 24/7 चलाया जा सकता है।
जहाँ इसकी आवश्यकता है, वहाँ यह क्यों कारगर है?
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” चरणों के दौरान विलायकों को हटाना एवं पॉलिमरों को आपस में जोड़ना आवश्यक है। हमारे लैंपों के द्वारा वेफर की सतह पर तापमान संतुलित रहता है; इससे वेफरों पर चिपकने की क्षमता बेहतर होती है, दोष कम होते हैं, एवं एक्सपोजर/एचिंग के बाद वेफरों की गुणवत्ता स्थिर रहती है।
तेज़ तापीय चक्रों के कारण चेंबरों में कार्य पूरा होने में समय कम लगता है; इससे उत्पादन क्षमता बढ़ जाती है, एवं ऊर्जा-खपत भी कम रहती है। इसके परिणामस्वरूप, पुनः-कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, उत्पादन की गुणवत्ता स्थिर रहती है, एवं प्रति वेफर लागत भी कम हो जाती है।
व्यावहारिक विवरण
ये लैंप कॉम्पैक्ट एवं मॉड्यूलर हैं; लेकिन वेफर की सतह के साथ इनका सही संरेखण आवश्यक है। एमिटर एवं सब्सट्रेट के बीच की दूरी को ठीक रखना आवश्यक है, एवं टूलों में उचित इंटरलॉकिंग एवं तापमान-फीडबैक सुविधाएँ भी आवश्यक हैं।
अधिकांश ट्रैकों एवं बेकिंग प्लेटों पर इन लैंपों का उपयोग आसानी से किया जा सकता है; हालाँकि चक के डिज़ाइन के कारण तापीय द्रव्यमान में परिवर्तन हो सकता है। इसलिए, इन लैंपों का उपयोग शुरू करने से पहले उनके उपयोग हेतु आवश्यक विनिर्देशों की जाँच अवश्य करें।