फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को 95°C पर गर्म करना कोई सुझाव नहीं है… यह तो आवश्यकता ही है। यदि इस तापमान में आधा डिग्री भी कमी हो जाए, तो लाइनों की चौड़ाई पर नियंत्रण खो जाता है… और इसका परिणाम उत्पादन दक्षता पर पड़ता है। इसीलिए, कोटर/बेक ओवन में उपयोग होने वाले हीटर तत्वों को हर बार समान तापमान प्रदान करना ही होता है… कोई बहाना नहीं।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम लिथोग्राफी प्रक्रियाओं हेतु ऐसे हीटर तत्व बनाते हैं जो अत्यधिक सटीक तापमान नियंत्रण सुनिश्चित करते हैं। चैंबर के आधार पर, हम छोटी-तरंगदैर्घ्य वाले हैलोजन क्वार्ट्ज एमिटरों या मध्यम-तरंगदैर्घ्य वाले कार्बन-फाइबर-रिइन्फोर्स्ड हीटरों का उपयोग करते हैं… जो आपकी आवश्यकताओं एवं ऊर्जा-मानकों के अनुरूप होते हैं। 300 मिमी वाले वेफरों पर, तापमान +/-0.1°C के भीतर ही रहता है… तेज़ तापमान-परिवर्तन दरें भी होती हैं… एवं सेटपॉइंट्स 24/7 कार्य-चक्रों में भी स्थिर रहते हैं। ये हीटर तत्व क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में उपयोग हेतु उपयुक्त हैं… कोई कण-निर्माण नहीं होता… गैस-निकासी कम होती है… एवं सामग्री जंग-प्रतिरोधी होती है। पुनरुत्पादन क्षमता को मापा जा सकता है… न कि केवल घोषित किया जा सकता है… भार के अंतर्गत भी स्थिरता बनी रहती है… एवं तापमान-परिवर्तनों का रिकॉर्ड भी रखा जाता है।
उत्पादन में इसका महत्व
ये हीटर तत्व, OEM हीटरों का विकल्प के रूप में उपयोग में आते हैं… एवं अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के अनुरूप हैं। फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में, तापमान-सटीकता ही महत्वपूर्ण है… क्योंकि यही उत्पादन गुणवत्ता एवं दोष-स्तर को निर्धारित करता है। उच्च सटीकता से तापीय तनाव कम होता है… फिल्म-मोटाई पर नियंत्रण बेहतर होता है… एवं प्रक्रिया-चक्र भी बेहतर होता है। इसका परिणाम – निरंतर उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद… कम री-वर्क… कम अपशिष्ट… एवं नियोजित रखरखाव-अंतराल है। ऊर्जा-उपयोग भी कुशल रूप से होता है… इससे क्लीनरूम पर तापीय भार कम होता है… बिना गुणवत्ता पर कोई प्रभाव पड़े।
स्थापना के दौरान क्या ध्यान देना आवश्यक है?
मानक उपकरणों पर इसकी स्थापना आसान है… लेकिन तापीय संपर्क एवं संरेखण बहुत ही महत्वपूर्ण है। ±0.1°C की सटीकता बनाए रखने हेतु, माउंटिंग-टोलरेंस, एमिश्विटी-मैचिंग, एवं सेंसर-कैलिब्रेशन की जाँच आवश्यक है। आउटपुट को वोल्टेज एवं वॉट-घनत्व द्वारा नियंत्रित किया जा सकता है… इसे आपके उपकरण के तापीय-भार एवं शीतलन-क्षमता के अनुरूप ही सेट करें। उच्च-उत्पादन-दर वाली लाइनों में, नियमित निरीक्षण आवश्यक है। विश्वसनीय होने के बावजूद, तापीय-चक्रों का प्रभाव तो होता ही है… इसे भी किसी अन्य प्रक्रिया-चर की तरह ही नियंत्रित करें… तभी ही लिथोग्राफी प्रक्रिया सही ढंग से चलेगी।