अर्धचालकों के निर्माण में ओजोन का उपयोग बंद करना
अर्धचालकों का निर्माण तभी सफल होता है, जब उचित तापमान प्राप्त किया जा सके। लेकिन लंबे समय से हमें एक परेशानी का सामना करना पड़ रहा है – पारंपरिक ऊष्मा-प्रदान करने वाली विधियों से ऊर्जा बर्बाद होती है, एवं ओजोन भी उत्पन्न होता है। इस समस्या से निपटने हेतु कारखानों को वायु को सुरक्षित रखने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा खर्च करनी पड़ती है।
हमने एक बेहतर तरीका खोजा। इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करके, 185नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य को टाला जा सकता है; इससे ऑक्सीजन अणु टूटने से बच जाते हैं। सरल शब्दों में, ओजोन ही नहीं बनता। हम समस्या को उसकी जड़ से ही दूर कर देते हैं, बजाय इसके कि बाद में उसे साफ करने की कोशिश की जाए।
ऊर्जा एवं समय की बचत
यदि आप “हरित कारखाना” के लक्ष्यों को पूरा करना चाहते हैं, तो यह सब इस बात पर निर्भर है कि आप प्रति वेफर कितनी किलोवाट-घंटे ऊर्जा खर्च कर रहे हैं।
हमारी इन्फ्रारेड प्रणालियों का लाभ यह है कि ये प्रत्यक्ष विकिरण ऊष्मा का उपयोग करती हैं। इससे चेंबर में मौजूद सारी हवा गर्म नहीं होती; केवल सब्सट्रेट ही गर्म होता है। यह पुराने कंवेक्शन ओवनों की तुलना में बहुत ही बेहतर है।
इसके अलावा, ये लैंप कुछ ही सेकंडों में लक्ष्य तापमान तक पहुँच जाते हैं। अब लंबे समय तक प्रतीक्षा करने की आवश्यकता ही नहीं है।
वास्तविकता
यह कोई जादुई उपाय नहीं है। उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड लैंपों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है।
यदि आप बहुत तेजी से तापमान बढ़ाना चाहते हैं, तो आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी शीतलन प्रणाली इस ऊष्मा को संभाल सके। अन्यथा, उपकरणों का तापमान बढ़ जाएगा। हम आमतौर पर ऐसी प्रणालियों के साथ PID नियंत्रकों का उपयोग करने की सलाह देते हैं। इससे ऊर्जा नियंत्रित रहती है, एवं तापमान नियंत्रित रहता है।
क्लीनरूम में ताज़ी हवा
HVAC प्रणाली में भी यह बहुत ही लाभदायक है। जब ओजोन का उत्पादन बंद हो जाता है, तो विषाक्त गैसों को दूर करने हेतु अतिरिक्त वेंटिलेशन की आवश्यकता ही नहीं होती। इससे एयर हैंडलिंग यूनिटों को आराम मिलता है। कम ऊर्जा खर्च होने से कार्बन फुटप्रिंट भी कम हो जाता है।
इंजीनियरों के लिए यह बहुत ही सरल है – उन्हें जटिल रासायनिक उपकरणों का उपयोग करने की आवश्यकता ही नहीं है। यह वाकई में बेहतरीन है।