अपने MEMS उपकरणों को “ओवन” में बदलना बंद करें!
यदि आपने कभी वेफरों को सुखाने हेतु सामान्य कन्वेक्शन हीटर का उपयोग किया है, तो आपको इसकी परेशानियों का अहसास होगा। आप वेफरों को सुखाने की कोशिश करते हैं, लेकिन इसके परिणामस्वरूप पूरा चैम्बर ही गर्म हो जाता है। आपके महंगे उपकरणों की आंतरिक दीवारें उस ऊर्जा को एक स्पंज की तरह अवशोषित कर लेती हैं।
परिणाम? मशीन का बाहरी हिस्सा छूने पर बहुत गर्म हो जाता है, और बिजली का खर्च भी बढ़ जाता है। यह तो बेकार ही है।
हमें एक बेहतर तरीका मिला – डायरेक्शनल इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग।
यह वास्तव में कैसे काम करता है?
कन्वेक्शन हीटिंग की तुलना में, इन्फ्रारेड हीटिंग में विद्युत-चुम्बकीय तरंगों का उपयोग करके ऊर्जा को सीधे वेफर की सतह तक पहुँचाया जाता है। हमें हवा या दीवारों को गर्म करने की कोई आवश्यकता ही नहीं है। हम ऊर्जा को ठीक उसी जगह पर भेजते हैं, जहाँ पानी को वाष्पित होने की आवश्यकता है।
आपके उपकरणों का स्टील फ्रेम ठंडा ही रहता है, क्योंकि ऊर्जा ठीक उसी जगह पर ही जाती है।
इसके फायदे एवं नुकसान
हम आमतौर पर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का ही उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि MEMS उपकरणों में ऐसे एमिटरों का उपयोग करने से ऊर्जा बेहतर तरीके से अवशोषित होती है। इसके अलावा, ऐसे एमिटरों को तेज़ प्रतिक्रिया वाले कंट्रोलरों के साथ भी उपयोग में लाया जा सकता है; इससे वेफर जल नहीं जाते।
लेकिन यहाँ एक समस्या है… इन्फ्रारेड लैंप बहुत ही शक्तिशाली होते हैं। यदि उनका संरेखण थोड़ा भी गलत हो जाए, तो वेफर पर गर्म बिंदु बन जाते हैं, या ऐसे घटक भी गर्म हो जाते हैं, जिन्हें गर्म नहीं किया जाना चाहिए। इसलिए, बीम के कोण को सही रखने हेतु रिफ्लेक्टरों का चयन बहुत ही सावधानी से करना होता है।
यह क्यों आसान बनाता है?
“गर्म दीवारों” की समस्या से छुटकारा मिलने के बाद, सब कुछ आसान हो जाता है। ऑपरेटरों को उपकरण के पास जाते समय जलने की चिंता नहीं रहती। HVAC सिस्टम को भी कमरे को ठंडा रखने हेतु ज्यादा प्रयास नहीं करने पड़ते। यह तेज़ है, कम जगह लेता है… और वास्तव में, यह पूरी प्रक्रिया को भौतिकी के नियमों के विरुद्ध लड़ने जैसी प्रक्रिया से बचाता है।