CNT हीटरों का उपयोग करते समय वेफरों को साफ रखना
यदि आप कार्बन नैनोट्यूबों के निर्माण में काम कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि कैटलिस्टों को सक्रिय करने हेतु उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड लैंपों की आवश्यकता होती है। लेकिन समस्या यह है कि जब ऐसे लैंपों का उपयोग बड़े पैमाने पर किया जाता है, तो स्थितियाँ नियंत्रण से बाहर हो सकती हैं।
लैंपों का टूटना एक बड़ी समस्या है… ऐसी स्थिति में न केवल उत्पादन प्रक्रिया रुक जाती है, बल्कि क्वार्ट्ज के टुकड़े एवं हैलोजन गैस भी वेफरों पर गिर जाते हैं… ऐसी स्थिति में पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है।
लैंपों के टूटने के जोखिम से निपटना
अधिकांश मामलों में लैंपों का टूटना यादृच्छिक नहीं होता… ऐसा आमतौर पर सीलिंग भागों पर लगने वाले यांत्रिक दबाव या स्थानीय रूप से उत्पन्न होने वाली ऊष्मा के कारण होता है।
इस समस्या से बचने हेतु हमने मोटी दीवार वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों एवं मजबूत सीलिंगों का उपयोग किया… इससे लैंप तेज ऊष्मा के कारण भी टूटने से बच जाते हैं।
लेकिन हमने यहीं नहीं रुके… हमने एक सुरक्षात्मक ढाँचा भी लगाया… ऐसा करने से, यदि कोई लैंप टूट जाए, तो वह टुकड़ा वेफरों तक नहीं पहुँच पाता… इससे वेफर सुरक्षित रहते हैं।
ऊष्मा-घनत्व संबंधी समस्याएँ
उच्च-वॉटेज वाले इन्फ्रारेड लैंप तो काम करते हैं, लेकिन वे बिजली आपूर्ति एवं शीतलन प्रणाली पर भारी दबाव डालते हैं…
कुछ लोग 250 वॉट/लैंप की क्षमता वाले लैंपों का उपयोग करते हैं, लेकिन 110% क्षमता पर उन्हें चलाकर समय बचाने की कोशिश करते हैं… ऐसा करने से लैंप जल्दी ही टूट जाते हैं…
कृपया ध्यान रखें कि आपके कूलिंग फैनों की क्षमता लैंपों द्वारा उत्पन्न होने वाली ऊष्मा के अनुरूप होनी चाहिए… यदि लैंपों के अंतिम भाग बहुत गर्म हो जाएं, तो क्वार्ट्ज नरम हो जाता है… ऐसी स्थिति में लैंप टूट जाता है।
लैंपों को ठीक रखना
जब कोई लैंप टूट जाता है, तो आप नहीं चाहेंगे कि आपके तकनीशियनों को तारों को ठीक करने में घंटों समय बर्बाद करना पड़े…
हम मानकीकृत कनेक्टरों का उपयोग करते हैं… इससे नया लैंप आसानी से लगाया जा सकता है… फिर PID कंट्रोलर को पुनः कैलिब्रेट करना ही पर्याप्त है…
ध्यान रखें: यदि आप किसी पुराने सिस्टम में केवल एक ही लैंप को बदल रहे हैं, तो वेफरों पर अस्थायी रूप से तापमान-असंतुलन हो सकता है… नए लैंप को स्थिर होने में थोड़ा समय लगेगा… इसलिए इस पर नज़र रखें।