دیگر از ابزارهای MEMS خود برای گرم کردن واfer استفاده نکنید!
اگر تا به حال از هیترهای معمولی برای خشک کردن واfer استفاده کردهاید، میدانید که چقدر دشوار است. شما سعی میکنید واfer را خشک کنید، اما در نهایت کل محفظه گرم میشود. دیوارههای داخلی این ابزارهای گرانقیمت، انرژی موجود را مثل اسفنج جذب میکنند.
نتیجه؟ قسمت بیرونی دستگاه به حدی گرم میشود که لمس آن خطرناک است؛ همچنین هزینه برق مصرفی نیز بالا میرود. این کاملاً بیهوده است.
ما روش بهتری پیدا کردهایم: استفاده از حرارت مادون قرمز.
چگونه کار میکند؟
فرض کنید میخواهید یک نفر را گرم کنید؛ روش معمول این است که هر سانتیمتر مکعب از هوای اتاق را گرم کنید. این روش کارایی ندارد.
اما حرارت مادون قرمز متفاوت است؛ این روش از امواج الکترومغناطیسی برای ارسال انرژی مستقیماً به سطح واfer استفاده میکند. ما نیازی نداریم هوا یا دیوارهها را گرم کنیم؛ فقط انرژی را در جایی قرار میدهیم که آب بتواند تبخیر شود.
چون انرژی در جای مناسب متمرکز میشود، قاب فولادی دستگاه سرد باقی میماند.
جزئیات و مشکلات
ما معمولاً از فرستندههای مادون قرمز با امواج کوتاه استفاده میکنیم. چرا؟ چون مواد مورد استفاده در فرآیند خشک کردن واfer، این امواج را بهتر جذب میکنند. همچنین میتوان آنها را با کنترلرهای پاسخ سریع ترکیب کرد تا از گرم شدن ناخواسته واfer جلوگیری شود.
اما مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز بسیار قوی هستند؛ اگر تنظیمات دستگاه حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، مشکلاتی پیش خواهد آمد. نقاط گرمی روی واfer ایجاد خواهد شد، یا بخشهایی که قرار نبود گرم شوند، گرم خواهند شد. بنابراین باید در انتخاب بازتابندهها بسیار دقت کرد تا زاویه تابش درست باشد.
چرا این روش کار را آسانتر میکند؟
وقتی که از مشکل «دیوارهای گرم» خلاص شدید، همه چیز متفاوت خواهد بود.
کاربران دیگر نگران سوختن هنگام نزدیک شدن به دستگاه نخواهند بود. سیستم تهویه هوا نیز مجبور نخواهد بود اتاق را خنک نگه دارد؛ چون دستگاه با محیط اطراف در تضاد نیست.
این روش سریعتر است، فضای کمتری را اشغال میکند؛ و در واقع، فرآیند خشک کردن واfer را کمتر شبیه به یک مبارزه با قوانین فیزیک میکند.