در طبقه لیتو، فوتورزیست به نیت اهمیت نمی‌دهد—بلکه به دما واکنش نشان می‌دهد. اگر نرم‌پخت شما حتی ۱°C در سطح ویفر تغییر کند، این تغییر به‌صورت تغییر CD...

در سطح کارگاه، انحراف حرارتی در طی پخت فوتورزیست یا خشک‌کردن ویفر تنها یک عامل کاهش ظرفیت نیست. این مسئله ابعاد حیاتی را تغییر می‌دهد و به آرامی...