نگهداری ویفرها در حالت تمیز، هنگام استفاده از گرمکنهای نانولولههای کربنی
اگر در زمینه ساخت نانولولههای کربنی فعالیت میکنید، میدانید که برای فعالسازی کاتالیستها، به لامپهای مادون قرمز با توان بالا نیاز دارید. اما مشکل اینجاست که وقتی از این لامپها در تولیدات عظیم استفاده میشود، ممکن است مشکلاتی پیش بیاید.
پارگی لامپ، یک فاجعه است؛ چرا که نه تنها خط تولید متوقف میشود، بلکه تکههای کوارتز و گاز هالوژن نیز روی ویفرها ریخته میشوند. در چنین شرایطی، کل محصولات تولید شده بیارزش میشوند.
مقابله با خطرات مربوط به پارگی لامپ
اکثر موارد پارگی لامپ، ناشی از فشارهای مکانیکی یا نقاط گرم در لامپها است. برای جلوگیری از این مشکلات، از لولههای کوارتزی با دیواره ضخیم و سیستمهای محافظتی قوی استفاده کردیم. این کار باعث میشود لامپها بتوانند در شرایط دمایی شدید نیز کار کنند، بدون اینکه آسیب ببینند.
اما ما این کار را تمام نکردیم؛ به منظور محافظت بیشتر، از سپرهای محافظتی نیز استفاده کردیم. اگر لامپی خراب شود، این سپرها تکههای شکسته لامپ را جذب میکنند؛ بنابراین شیشهها هرگز به ویفرها برخورد نمیکنند. این کار باعث میشود که آشفتگیها در حدود محدودی باقی بمانند و ویفرها در امان بمانند.
مشکلات مربوط به تراکم گرما
لامپهای مادون قرمز با توان بالا، کار را انجام میدهند، اما فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی و سیستم خنککنندگی وارد میکنند. من دیدهام که برخی افراد سیستمی را با توان ۲۵۰ وات برای هر لامپ طراحی میکنند، اما سعی میکنند با کارکرد لامپها در حد ۱۱۰ درصد، زمان تولید را کم کنند. این کار را نکنید؛ چرا که این کار باعث میشود فیلامنتهای لامپ سریعتر خراب شوند.
همچنین، حتماً مطمئن شوید که فنهای خنککننده، مناسب توان تولید گرمای لامپها باشند. اگر انتهای لامپ بیش از حد گرم شود، کوارتز نرم میشود و شروع به تغییر شکل میکند؛ در نتیجه لامپ خراب میشود.
حفظ عملکرد سیستم
وقتی لامپی خراب میشود، نمیخواهیم که تکنسینها ساعتها وقت خود را صرف تعمیر سیمکشی کنند. ما از اتصالات استاندارد استفاده میکنیم؛ بنابراین میتوانید به راحتی لامپ جدیدی را جایگزین کنید. پس از تعویض لامپ، کنترلر PID را دوباره تنظیم کنید و سیستم دوباره به کار خود ادامه خواهد داد.
یک نکته مهم: اگر قصد تعویض یک لامپ در یک مجموعه قدیمی را دارید، ممکن است تعادل دمایی در ویفرها مختل شود. به زمان کمی نیاز است تا فیلامنت جدید استابیل شود؛ بنابراین حتماً مراقب آن باشید.