Dejen de convertir sus herramientas MEMS en “hornos”.
Si alguna vez han utilizado un calentador de convección para secar obleas, saben bien los problemas que esto implica. Intentan secar la oblea, pero al final se calienta toda la cámara. Las paredes internas de su costosa herramienta absorben toda esa energía, como si fueran esponjas.
El resultado? La superficie exterior de la máquina se calienta tanto que resulta peligroso tocarla, y la factura de electricidad aumenta drásticamente. Es un desperdicio.
Hemos encontrado una mejor solución: el calentamiento por ondas infrarrojas direccional.
Cómo funciona realmente
Imagínenselo así: la convección es como tratar de calentar a una sola persona calentando cada centímetro cúbico de aire en la habitación. Es ineficiente.
Las ondas infrarrojas son diferentes. Utilizan ondas electromagnéticas para enviar energía directamente a la superficie de la oblea. No es necesario calentar el aire ni las paredes. Simplemente, se dirige el calor exactamente donde es necesario que el agua se evapore.
El marco de acero de la herramienta se mantiene frío, ya que la energía se concentra donde debe estar.
Los detalles importantes (y los peligros)
Por lo general, utilizamos emisores de ondas infrarrojas de onda corta. ¿Por qué? Porque los materiales utilizados en el secado de MEMS los absorben mejor. Además, se pueden combinar con controladores de respuesta rápida, para evitar que las obleas se calienten accidentalmente.
Pero aquí está el problema: las lámparas de ondas infrarrojas son muy intensas. Si la alineación no es precisa, incluso por unos pocos milímetros, eso causará problemas. Se formarán puntos calientes en la oblea, o se calentará algún componente que no está diseñado para ser calentado. Hay que ser muy preciso con los reflectores para obtener el ángulo adecuado del haz de luz.
Por qué esto simplifica todo
Una vez que se elimina el problema de las paredes calientes, todo cambia. Los operadores ya no tienen que preocuparse por quemarse al acercarse a la herramienta. El sistema HVAC tampoco tiene que trabajar tanto para mantener la habitación fría, ya que la máquina no compite con el entorno.
Es más rápido. Ocupa menos espacio. Y, honestamente, hace que todo el proceso parezca algo mucho menos complicado.