半导体加工用加热元件

在芯片制造过程中，照片阻剂需要经过95°C的烘烤处理——这并非建议，而是一项必须遵守的工艺要求。如果温度偏差达到半度，那么线条宽度的控制就会出问题，进而影响产品的良率。因此，涂覆机或烘烤炉中的加热元件必须能够持续提供稳定的热量，没有任何例外。 核心要点 我们为光刻工艺设计的高精度加热元件，其性能可...