Trong môi trường sản xuất, những biến động nhiệt độ trong quá trình kích hoạt chất pha tạp, quá trình sấy phim quang học… không chỉ làm giảm hiệu suất sản xuất mà còn có thể phá hủy hoàn toàn sản phẩm. Chúng tôi đã chế tạo máy sưởi bằng tia hồng ngoại dành riêng cho việc kích hoạt chất pha tạp, giúp duy trì nhiệt độ ở mức cần thiết trong quá trình sản xuất, chứ không phải ở mức mà buồng xử lý tự động điều chỉnh.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Bộ phát tia hồng ngoại sóng ngắn của chúng tôi có khả năng làm nóng nhanh và chính xác, với mức độ đồng đều trên bề mặt wafer trong khoảng ±0,1°C. Điều này giúp ổn định quá trình kích hoạt chất pha tạp và duy trì mức độ đồng đều trong quá trình sấy phim quang học. Mô-đun quartz-halogen giúp kiểm soát chặt chẽ bước sóng, giúp đạt được mức nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng, mà không làm tăng chi phí năng lượng.
Khả năng tương thích với các phòng sạch cấp độ 1–100 cũng được đảm bảo nhờ việc sử dụng các vật liệu ít thải khí, các bộ phận được đóng kín, và cấu trúc buồng xử lý giúp giảm thiểu số lượng hạt bụi. Điều này rất quan trọng trong quá trình sản xuất, vì quá trình in ấn quang học không thể chịu đựng được những biến động nhiệt độ như vậy. Độ lặp lại của quá trình sản xuất cũng được đảm bảo, từ lần này sang lần khác.
Tại sao điều này lại quan trọng trong môi trường sản xuất
Trên thực tế, quá trình sấy mềm giúp loại bỏ chất dung môi mà không làm hư hại bề mặt wafer; còn quá trình sấy cứng thì giúp khôi phục bề mặt wafer mà không gây ra hiện tượng tan chảy hay tạo thành các vết bẩn. Quá trình kích hoạt chất pha tạp diễn ra một cách ổn định, giúp giảm thiểu sự chênh lệch nhiệt độ trên bề mặt wafer.
Số lần phải sản xuất lại giảm đi. Khả năng kiểm soát độ dày lớp phủ được cải thiện. Thời gian hoàn thành mỗi chu kỳ sản xuất có thể được dự đoán chính xác. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống, vì phản ứng diễn ra nhanh chóng và mức tiêu thụ năng lượng khi máy ở trạng thái chờ cũng rất thấp. Máy có thể hoạt động 24/7 mà không gặp vấn đề gì về nhiệt độ.
Những điều cần chú ý khi lắp đặt
Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng máy sưởi được kết nối đúng với đường đi ánh sáng và hệ thống làm mát của buồng xử lý. Cần kiểm tra độ chính xác của các bộ phản xạ ánh sáng và dòng chảy của chất làm mát trong quá trình lắp đặt.
Cần có một giai đoạn ổn định nhiệt độ ngắn trước khi đạt được mức độ đồng đều mong muốn. Cần lên kế hoạch calibrate máy thường xuyên để duy trì mức độ đồng đều trong khoảng ±0,1°C trong suốt quá trình sản xuất.