Trên sàn sản xuất, một sự sai lệch 0.5°C trong quá trình nướng photoresist là đủ để kéo các mục tiêu kích thước quan trọng (CD) ra khỏi và bắt đầu làm giảm năng suất. Các bộ đun hồng ngoại trong buồng chân không có mặt để loại bỏ sự biến động này trong quá trình nướng mềm và nướng cứng—những bước mà ngân sách nhiệt là không thể thương lượng.
Những gì quan trọng bên trong
Hồng ngoại sóng ngắn tác động nhanh chóng vào bề mặt wafer và buồng, kết hợp nhiệt trực tiếp và giảm thiểu độ trễ nhiệt. Chúng tôi hướng tới sự đồng nhất trên bề mặt wafer với độ lệch ±0.1°C trong toàn bộ cửa sổ quy trình, và khả năng lặp lại điểm đặt duy trì ổn định qua từng lô. Thân bộ đun được thiết kế cho việc sử dụng trong phòng sạch loại 1–100, với vật liệu ít thoát khí và hoàn thiện giúp giảm thiểu sự tạo ra hạt bụi gần như bằng không. Trong môi trường chân không, nhiệt độ giữ ổn định ngay cả khi áp suất và thành phần khí thay đổi—do đó, các chồng lithography và etch có một lịch sử nhiệt ổn định.
Tại sao nó ổn định trong sản xuất
Nướng mềm và nướng cứng thiết lập hồ sơ photoresist ảnh hưởng đến sự chồng chéo và kiểm soát CD. Với các bộ đun hồng ngoại này, wafer đạt đến nhiệt độ nhanh chóng, sau đó giữ ổn định mà không vượt quá—rút ngắn chu kỳ nướng và làm chặt chẽ sự phân bố. Lợi ích là giảm số lượng lô phải làm lại, giảm rác thải, và ngân sách nhiệt có tầm nhìn thẳng đứng giữ nguyên trong các phân chia sản phẩm. Việc tiêu thụ năng lượng giảm vì bộ đun phản ứng theo nhu cầu, và độ tin cậy được thiết kế cho hoạt động 24/7. Thời gian ngừng hoạt động không lên kế hoạch giảm không phải do hứa hẹn, mà do biên độ thiết kế trong khối lượng nhiệt và các vòng điều khiển.
Các yếu tố thực tiễn bạn cần biết
Các bộ đun này cần được neo nhiệt chắc chắn và có che chắn bức xạ thích hợp để giữ sự đồng nhất ở mức cần thiết. Hình học buồng và độ phát xạ của các vật cố định có thể làm thay đổi hồ sơ nhiệt, vì vậy việc đưa vào sử dụng cần phải lập bản đồ khu vực nóng và tinh chỉnh PID để phù hợp với hồ sơ chân không của bạn. Lên kế hoạch cho việc tiếp cận dịch vụ tương thích với phòng sạch từ đầu—thay thế bóng đèn và hiệu chuẩn là những việc thường xuyên, nhưng nếu lối đi không được xác định, bạn sẽ phải đối phó với số lượng hạt bụi mỗi khi.