Kimyasal temizleme bölgelerinde sıcaklığı kontrol altında tutmak Dürüst olalım: Yanıcı çözücülerin bulunduğu yerlerde kızılötesi lambalar kullanmak...

On the litho floor, fotoresist niyetle ilgilenmez—sıcaklığa tepki verir. Yumuşak pişirme işlemi wafer boyunca sadece 1°C saparsa, bu sapma parti...