Yarı iletken üretim ekipmanlarının iç kısmını soğuk tutarken aynı zamanda işlem sırasında oluşan ısıyı kontrol altında tutmak oldukça zor bir iştir. Çoğu standart ısıtıcı, ısıyı her yere yayar. Bu durum, bir ısıtıcıyı karton kutunun içine koymak gibidir; sonunda tüm ekipman büyük bir radyatör gibi davranmaya başlar. Pahalı ekipmanlar aşırı ısınır ve operatörler de yanma riskinden endişe etmek zorunda kalır.
Daha iyi bir çözüm bulduk: Yöneltilebilir kızılötesi ısıtma yöntemi.
İşin püf noktası şu: Isının rastgele dağılmasına izin vermek yerine, kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Bu lambalar enerjiyi tam da gereken yere, yani yonga veya substratın üzerine yönlendirir.
Bu sayede, genellikle ekipmanın duvarlarını ısıtan o can sıkıcı durum ortadan kalkar. İhtiyacınız olan ısı enerjisi tam da hedef noktada elde edilir; diğer parçalar ise soğuk kalır. Artık ekipmanın yüzeyleri yanmaz.
Ancak oraya herhangi bir kablo yerleştiremezsiniz. Eğer standart PVC kablolar kullanılırsa, birkaç hafta içinde kırılır veya erir. Bu tür kablolar bu tür durumlar için uygun değildir. Bu yüzden biz Teflon (PTFE) kaplamalı kablolar kullanıyoruz. Bu kablolar aşırı ısıya dayanabilir ve kimyasalların etkisine karşı da dayanıklıdır. Kızılötesi radyasyonun etkisi altında bile esnek kalır ve görevini yerine getirir.
Yine de, kablo düzenlemesi konusunda dikkatli olmak gerekir. Teflon’un da sınırları vardır. Eğer bir kablo, lambanın kuvars kapsülüne temas ederse, işler kötüye gider. Bu yüzden kabloların düzenlenmesi gerekiyor ki hiçbir şey doğrudan ısı kaynağının yolunda olmasın.
Koruma ve yansıtıcı elemanlar doğru şekilde ayarlandığında, ısı tam da istediğiniz yere gider. Böylece tesisinizin HVAC sistemi de rahatlayabilir ve birçok ekipman tasarımını zorlaştıran “sıcak duvarlar” sorunu da ortadan kalkar.