Fabrikadaki Sıcaklığın Doğru Ayarlanması
Eğer “akıllı” bir fabrika kurmaya çalışıyorsanız, otomasyonun zor kısım olmadığını hemen anlayacaksınız. Asıl zorluk verilerle ilgilidir. Gerçek zamanlı olarak size bilgi sağlayabilen bir sistem gereklidir. Yarı iletken ısıtma sistemlerimizde, tahmin yapmayı bırakıp yüksek yoğunluklu kızılötesi sistemleri hassas termokupllerle birleştirerek ölçümler yapmaya başladık. Bu, manuel kontrollerden kurtulup işlemi dijitalleştirmenin tek yoludur.
Neden Kızılötesi Sistemleri Kullanıyoruz?
Kızılötesi sistemler mükemmeldir; çünkü neye dokunmalarına gerek yoktur. Anında sonuç verirler. Geleneksel ısıtıcılar ise yavaştır; ısı yayılımına dayanırlar ve bu da uzun süre alır. Kızılötesi sistemler ise waferin yüzeyine temas ederek hemen sonucu verir.
Isının tüm substrat üzerinde eşit şekilde dağılmasını sağlamak için bunları fabrikanın tasarımına dahil ediyoruz. Çünkü eğer sıcak noktalar olursa, tüm waferler boşa gider. Bu, kimse istemeyeceği türden bir durumdur.
Termokupllerin Dezavantajları
Kızılötesi sistemler genel durumu gösterirken, termokupller ise belirli bir noktada neler olduğunu gösterir. Buradaki sorun, düşük termal kütleye sahip sensörler gerektirmesidir. Eğer termokupliniz çok büyükse, tepkisi gecikir. Sensörün tepkisi geciktiğinde, PID kontrol cihazı hedef sıcaklığın üzerine çıkar. Bu da hassasiyeti bozan bir döngüdür.
Dijitalleştirmenin Zorlukları
Bunu bir izleme sistemi haline getirmek için her şeyi dijital dönüştürücüler aracılığıyla işliyoruz. Bu sayede ısıtma işleminin dijital bir versiyonuna sahip oluyoruz. İşe yaradığında adeta sihir gibi görünüyor.
Ancak yüksek frekanslı ölçümler elektriksel gürültülere neden olur. Eğer kabloları dikkatsizce yerleştirirseniz ve termokupl kablolarını yüksek voltajlı kızılötesi güç hatlarının yanına yerleştirirseniz, verileriniz gürültülü olur. Sinyali temiz tutmak için ekranlı kablolar kullanmalı ve toprağlama sistemini doğru şekilde ayarlamalısınız. Aksi takdirde, sizin “akıllı” fabrikanız aslında sadece tahminlerle çalışmış olur.