บนพื้นโรงงาน การเบี่ยงเบน 0.5°C ในระหว่างการอบฟิล์มโฟโต้เรซิสต์เพียงพอที่จะทำให้เป้าหมายขนาดเชิงวิศวกรรม (CD) คลาดเคลื่อนและเริ่มทำให้ผลผลิตลดลง เครื่องทำความร้อนอินฟราเรดในห้องสูญญากาศถูกออกแบบมาเพื่อลดความแปรปรวนในกระบวนการอบอ่อนและอบแข็ง—ขั้นตอนที่งบประมาณความร้อนนั้นไม่สามารถต่อรองได้
สิ่งที่สำคัญภายใน
คลื่นอินฟราเรดระยะสั้นกระทบกับเวเฟอร์และพื้นผิวในห้องอย่างรวดเร็ว ส่งความร้อนโดยตรงและลดเวลาล่าช้าในการให้ความร้อน เรามุ่งมั่นที่จะสร้างความสม่ำเสมอที่ระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ในช่วงกระบวนการ และความสามารถในการทำซ้ำของจุดตั้งค่าจะคงอยู่ในทุกล็อต ตัวเครื่องทำความร้อนถูกสร้างขึ้นสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่ปล่อยก๊าซน้อยและพื้นผิวที่ช่วยลดการสร้างอนุภาคให้อยู่ในระดับใกล้เคียงศูนย์ ในสภาวะสูญญากาศ อุณหภูมิจะคงที่แม้ว่าความดันและองค์ประกอบของก๊าซจะเปลี่ยนไป—ดังนั้นการพิมพ์ลายและการกัดชิ้นงานจึงมีประวัติความร้อนที่สม่ำเสมอ
ทำไมมันจึงมีความสำคัญในกระบวนการผลิต
การอบอ่อนและการอบแข็งตั้งโปรไฟล์ของฟิล์มโฟโต้เรซิสต์ที่ขับเคลื่อนการควบคุมการซ้อนทับและ CD ด้วยเครื่องทำความร้อนอินฟราเรดเหล่านี้ เวเฟอร์จะมีอุณหภูมิสูงขึ้นอย่างรวดเร็ว จากนั้นจะคงที่โดยไม่เกินอุณหภูมิ—ช่วยลดเวลาการอบและทำให้การกระจายมีความแน่นแฟ้นมากขึ้น ผลลัพธ์คือมีล็อตที่ต้องทำซ้ำลดลง ชิ้นงานเหลือใช้ลดลง และงบประมาณความร้อนที่สามารถมองเห็นได้จะคงที่ในทุกการแยกผลิตภัณฑ์ การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากเครื่องทำความร้อนตอบสนองตามความต้องการ และความน่าเชื่อถือถูกออกแบบมาเพื่อการดำเนินงานตลอด 24 ชั่วโมงทุกวัน เวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดลดลงไม่ใช่เพียงแค่สัญญา แต่เป็นการออกแบบมาร์จิ้นในมวลความร้อนและวงจรควบคุม
สิ่งที่คุณต้องการทราบ
เครื่องทำความร้อนเหล่านี้ต้องการการยึดติดทางความร้อนที่มั่นคงและการป้องกันรังสีที่เหมาะสมเพื่อรักษาความสม่ำเสมอในตำแหน่งที่ควรจะเป็น รูปร่างของห้องและค่าอีมิสซิวิทีของอุปกรณ์อาจเปลี่ยนโปรไฟล์ความร้อน ดังนั้นการตั้งค่าจึงหมายถึงการทำแผนที่โซนร้อนและปรับแต่ง PID ให้ตรงตามโปรไฟล์สูญญากาศของคุณ วางแผนสำหรับการเข้าถึงบริการที่เหมาะสมกับห้องสะอาดล่วงหน้า—การเปลี่ยนหลอดไฟและการสอบเทียบเป็นเรื่องปกติ แต่ถ้าทางเข้าถูกกำหนดไม่ชัดเจน คุณจะต้องต่อสู้กับการนับอนุภาคทุกครั้ง