บนพื้นลิเทอโรกราฟี การควบคุมความกว้างของเส้นจะได้หรือเสียในกระบวนการอบหลังการเปิดรับแสง การเบี่ยงเบนของอุณหภูมิเพียงไม่กี่องศา หรือความไม่สม่ำเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์ และคุณกำลังเผชิญกับการเบี่ยงเบนของ CD และของเสีย เราได้ออกแบบเครื่องทำความร้อน PEB ของเราเพื่อลดความแปรปรวนนี้ออกจากสมการ
สิ่งที่สำคัญภายใน เรากำลังพูดถึงความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิวการอบ และความแม่นยำของอุณหภูมิฟิล์มโฟโตเรซิสต์ที่อยู่ภายในงบประมาณความร้อนที่เข้มงวดที่กระบวนการของคุณต้องการ การออกแบบใช้ส่วนประกอบอินฟราเรดคลื่นสั้นสำหรับการถ่ายโอนพลังงานที่รวดเร็วและสะอาด จึงทำให้สามารถเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วโดยไม่เกิดการเกินขอบเขต สร้างขึ้นสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 ตัวเครื่องและอุปกรณ์ภายในได้รับการออกแบบเพื่อสร้างอนุภาคเป็นศูนย์ ทำให้การนับการปนเปื้อนลดลงในแต่ละรอบ ความเชื่อถือได้มาจากโครงสร้างความร้อนที่เรียบง่ายและวงจรควบคุมที่แข็งแกร่ง โดยหน่วยนี้ได้รับการพิสูจน์ทางสนามว่าสามารถทำงานได้หลายหมื่นรอบด้วยการเบี่ยงเบนที่น้อยที่สุด ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในสายการผลิต ในโรงงานที่มีการผลิตสูง ความสามารถในการทำซ้ำ PEB เป็นเส้นแบ่งระหว่างผลผลิตที่มั่นคงและการหยุดชะงักที่เกิดขึ้นตลอดเวลา เครื่องทำความร้อนเหล่านี้มอบความเสถียรภาพทางความร้อนที่โหนดขั้นสูงต้องการ ซึ่งแม้แต่การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเล็กน้อยก็สามารถทำให้ CD และความล้มเหลวของพารามิเตอร์พื้นผิวเกิดขึ้น คุณจะได้การกระจายที่แน่นแฟ้นมากขึ้นในล็อต การทำงานซ้ำที่น้อยลง และเวลาการอบที่คุณสามารถไว้วางใจได้ ผลตอบแทนคือประสิทธิภาพการลิเทอโรกราฟีที่คาดการณ์ได้ ของเสียที่น้อยลง และตารางเวลาที่มีเสถียรภาพในแต่ละวัน สิ่งที่คุณต้องรู้ล่วงหน้า เครื่องทำความร้อนนี้เป็นการแทนที่โดยตรงที่เทียบเท่าสำหรับมาตรฐานอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์สากล แต่รายละเอียดการรวมยังคงสำคัญ ตรวจสอบให้แน่ใจว่ารูปทรงของห้องของคุณ อินเตอร์เฟซการติดตั้ง และแหล่งจ่ายไฟตรงกับรูปแบบและสเปคทางไฟฟ้าของเรา การตั้งค่าจะใช้เวลาไม่นาน—พอเพียงที่จะปรับแต่งโปรไฟล์การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิให้เหมาะสมกับฟิล์มโฟโตเรซิสต์ของคุณ เมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว หน่วยนี้จะทำงานทางความร้อนเหมือนกับต้นฉบับ โดยไม่ทำให้คุณต้องเขียนสูตรกระบวนการใหม่