ในโรงงานผลิตชิป ความผันผวนของอุณหภูมิในขั้นตอนการกระตุ้นสารเติมแต่ง การอบวัสดุโฟโตรีสิสต์ ไม่เพียงแต่ส่งผลให้อัตราการผลิตลดลงเท่านั้น แต่ยังทำให้อัตราการผลิตเป็นศูนย์ไปเลยด้วย เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับกระตุ้นสารเติมแต่งขึ้นมา เพื่อรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่จำเป็นต่อกระบวนการผลิตจริงๆ ไม่ใช่อุณหภูมิที่เกิดขึ้นโดยบังเอิญ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นของเราสามารถทำความร้อนได้อย่างรวดเร็วและตรงจุด โดยมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1°C ซึ่งช่วยให้กระบวนการกระตุ้นสารเติมแต่งมีความเสถียร และทำให้อุณหภูมิในขั้นตอนการอบวัสดุโฟโตรีสิสต์คงที่ นอกจากนี้ โมดูลควอตซ์-ฮาโลเจนยังช่วยควบคุมสเปกตรัมของความร้อนได้อย่างดี ทำให้สามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ส่งผลกระทบต่อพลังงานที่ใช้
ความเข้ากันได้กับห้องสะอาดระดับ 1–100
เครื่องนี้มีความเข้ากันได้กับห้องสะอาดระดับ 1–100 เนื่องจากใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย มีการออกแบบให้มีการปิดผนึกที่ดี และมีโครงสร้างที่ช่วยลดปริมาณอนุภาคที่อาจส่งผลกระทบต่อกระบวนการผลิต ดังนั้นจึงสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ดี
ข้อดีของการใช้เครื่องนี้ในโรงงานผลิตชิป
ในทางปฏิบัติ การอบวัสดุโฟโตรีสิสต์จะทำได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่มีการสะสมตัวของสารละลาย ส่วนการอบวัสดุเพื่อให้แข็งตัวก็ทำได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่มีการหลอมละลายหรือการเกิดสิ่งสกปรก นอกจากนี้ กระบวนการกระตุ้นสารเติมแต่งก็ดำเนินไปอย่างมีความเสถียร ทำให้ความแตกต่างของอุณหภูมิในวัสดุมีน้อยมาก
สิ่งที่ควรให้ความสำคัญ
การติดตั้งเครื่องนี้ต้องมีการปรับให้เข้ากับเส้นทางแสงและระบบระบายความร้อนของห้องผลิตชิป นอกจากนี้ ยังต้องมีการตรวจสอบการจัดวางของกระจกสะท้อนแสงและการไหลของน้ำที่ใช้ในการระบายความร้อนด้วย มีช่วงเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับอุณหภูมิให้คงที่ก่อนที่ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะเกิดขึ้น ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการปรับแต่งเครื่องอย่างสม่ำเสมอ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1°C ตลอดช่วงเวลาการผลิต