Как предотвратить загрязнение пластин во время процедуры промывки при высокой нагрузке
Давайте поговорим о самой ужасной ситуации в процессе сушки полупроводников: разрыв лампы инфракрасного излучения. Если лампа ломается во время работы при высокой нагрузке, это означает не просто поломку лампы. Осколки стекла и химические вещества попадают на пластины. Это приводит к серьезным повреждениям продукции. Мы потратили много времени на поиск способов предотвращения этого.
Проблема тепловых ударов
Когда необходимо достичь высокой скорости производства, нужно много тепла — и как можно быстрее. Но здесь есть проблема: когда холодная вода попадает на раскаленную кварцевую трубку, происходят резкие изменения температуры. Обычные лампы не могут выдержать такие нагрузки; они ломаются. Чтобы решить эту проблему, мы используем кварц с толстыми стенками. Также мы добавляем специальные водонепроницаемые уплотнители на концах трубки. Это предотвращает проникновение влаги внутрь корпуса, что обычно приводит к короткому замыканию или слишком раннему износу нити накаливания.
Создание дополнительной защиты
Мы не можем полагаться только на то, что лампа останется целой. Мы оборачиваем ее защитным кожухом — герметичным кварцевым корпусом. Это своего рода физический барьер. Если внутренний нагревательный элемент сломается, внешний корпус сможет задержать все осколки. Пластины останутся чистыми. Это простой способ избежать сбоев в производстве из-за поломки лампы.
Компромиссы (и как с ними справиться)
При использовании дополнительного слоя кварца происходит частичное снижение интенсивности инфракрасного излучения. Но это легко решаемая проблема. Мы просто увеличиваем мощность лампы, чтобы сохранить необходимую скорость работы. Важно также убедиться, что источник питания может справиться с дополнительной нагрузкой, чтобы времена работы лампы не изменялись. Еще один совет: использовать точный контроль PID. Если вы просто включаете и выключаете лампу без правильного снижения мощности, это может привести к повреждению нити накаливания. Не имеет значения, насколько хорошо уплотнен корпус лампы — физика тепла все равно будет влиять на нее.