Как сохранить чистоту кристаллических пластин: правда о сбоях инфракрасных ламп
На производстве полупроводников при высоких объемах производства сгорание лампы представляет собой серьезную проблему. Но если же кварцевая трубка разрушается полностью, это настоящий кошмар. Когда осколки стекла и пыль попадают на кристаллические пластины, это приводит не только к простоям, но и к загрязнению продукции, а также к потере времени. Мы потратили много усилий на поиск способов предотвращения этого.
Как предотвратить образование осколков
Мы решаем эту проблему следующим образом: нагревательный элемент оборачивается в оболочку из высокочистого кварца. Это своего рода защитный слой. Если внутренний филамент перегорает или трубка трескается от жара, внешняя оболочка собирает все осколки внутри себя. Таким образом, пластины остаются чистыми. Конечно, лампа будет неисправна, но пластины останутся в неприкосновенности.
Как справляться с высокой температурой
Эти устройства нагреваются до очень высоких температур. Чтобы избежать их разрушения под действием давления, мы используем кварц с толстыми стенками. Он более прочный. Мы также уделяем внимание местам соединения компонентов. Именно там обычно возникают проблемы. Мы избегаем использования дешевых клеев, которые выделяют вредные газы в вакуумной или чистой комнате. Нельзя допускать, чтобы такие вещества находились рядом с рабочей зоной.
Компромиссы
Есть один недостаток: лампы с высокой мощностью хороши тем, что быстро нагреваются, что способствует продолжению производства. Но вся эта энергия создает большое количество тепла. Необходимо обеспечить эффективное охлаждение и циркуляцию воздуха. Если корпус устройства слишком нагревается, соединения в конце концов сломаются, независимо от качества лампы. Все дело в балансе.
Быстрая замена
Никто не хочет тратить полдня на перекалибровку оборудования лишь из-за выхода из строя лампы. Мы используем стандартизированные соединители, поэтому замена лампы занимает менее десяти минут. Это очень просто.