Op de productiefaciliteit hebben thermische schommelingen tijdens het activeren van dopanten, tijdens het ‘soft bake’ en ‘hard bake’ van de fotoresist gevolgen voor de kwaliteit van het product: ze zorgen er namelijk voor dat de productie niet meer mogelijk is. We hebben een infraroodverwarmer ontworpen die de gewenste temperatuur behoudt, zodat de processtappen op de juiste manier kunnen plaatsvinden.
Wat technisch gezien belangrijk is: Onze kortegolflange infraroodemitter verwarmt snel en effectief, met een uniformiteit op niveau van ±0,1°C. Dit zorgt voor een stabiel activatieproces en houdt de vereiste temperatuurniveaus voor het bewerken van de fotoresist constant. Het kwarts-halogeenmodule zorgt voor nauwkeurige controle over het spectrum, zodat de gewenste temperatuur snel kan worden bereikt, zonder dat dit invloed heeft op de energieverbruik.
De compatibiliteit met cleanrooms van klasse 1–100 is vanzelfsprekend: materialen die weinig gassen afgeven, goed afgesloten componenten en een geometrie die het risico op deeltjes minimaliseert, zorgen ervoor dat de concentraties van deeltjes laag blijven – iets wat bij litografie onacceptabel zou zijn. Herhaalbaarheid is cruciaal: van batch tot batch moet de temperatuur constant blijven.
Waarom dit belangrijk is in de productiefaciliteit: In de praktijk zorgt het ‘soft bake’ ervoor dat de oplosmiddelen worden verwijderd, zonder dat er schade aan het product optreedt. Het ‘hard bake’ zorgt er weer voor dat de fotoresist goed wordt gevormd, zonder dat er problemen ontstaan door herverhitting of andere factoren. Het activeren van dopanten vindt op een stabiele manier plaats, zodat de concentraties van dopanten over het gehele wafer gelijk blijven.
Er zijn minder herwerkingsacties nodig. De controle over de diameter van het product is beter. De cyclustijd is voorspelbaar. Het energieverbruik is lager, omdat de reactie snel is en er minimale verliezen optreden. Bovendien werkt de apparatuur 24/7 – geen hot spots, geen problemen bij het inschakelen.
Wat je goed moet regelen: Tijdens de installatie moet de verwarmder worden aangepast aan de optische weg en de koelsystemen van de kamer. De alignering van de reflectoren en de stroming van het koelmiddel moeten tijdens de inbedrijfstelling worden gecontroleerd. Er is eerst een korte opwarmperiode nodig voordat de gewenste uniformiteit wordt bereikt. Plan regelmatige kalibraties om de uniformiteit binnen de grenzen van ±0,1°C te houden.