Op de productielijn is een thermische afwijking in een Lam Research-chamber geen klein probleem. Het heeft direct invloed op de controle van de CD-kwaliteit, het profiel van de fotoreceptor en de algemene productiekwaliteit. Wanneer de heater begint te fluctueren, fluctueren ook de temperaturen tijdens het zachte en harde bakken. Hierdoor wordt de thermische balans over de hele chip verstoord. Daarom moet de vervangende heater precies hetzelfde thermische gedrag vertonen als de oorspronkelijke heater.
Wat technisch gezien belangrijk is:
Wij ontwerpen de vervangende heater van Lam Research zodat er een thermische uniformiteit van ±0,1°C wordt behouden, ongeacht de omstandigheden tijdens het proces. Hierdoor blijft de prestatie van de fotoreceptor consistent. U kunt kiezen voor een halogeen-, kortegolf-, middenweg- of NIR-heater, afhankelijk van de thermische eigenschappen van de chamber. Dit voorkomt overtollige hitte en koude plekken. De heater is gemaakt van hoogzuiver kwarts en bevat gecontroleerde sluitingen, zodat deze voldoet aan de vereisten van een schoonmakerijklasse 1–100. Er wordt zelfs gebruik gemaakt van monitoring om te voorkomen dat er stofdeeltjes vrijkomen. De elektrische interfaces zijn afgestemd op de juiste spanning, vermogensdichtheid en connectorsoort, zodat de heater goed kan worden geïntegreerd in de besturingssystemen van de originele apparatuur.
Dit is waarom deze heater wordt gebruikt in de lithografie- en fotoreceptorverwerkingsprocessen: temperatuurstabiliteit zorgt voor consistente lijndiktes en minder defecten. Met deze heater kunt u nauwkeuriger controleren hoe het proces verloopt tijdens het zachte en harde bakken. Hierdoor wordt afval verminderd en wordt de levensduur van de apparatuur verlengd. Ook wordt de energieverbruik verminderd, omdat de heater snel op temperatuur komt en de gewenste temperatuur lang kan behouden – dit vermindert de thermische belasting op de chamber en de hele behuizing.
Voor de installatie is het belangrijk om het originele ontwerp van de Lam Research-chamber nauwkeurig na te bootsen. Plan eerst een gecontroleerde opwarmprocedure en een testperiode om de werking van de heater te controleren en te bevestigen dat de chamber schoon is, voordat de heater weer in productie wordt geplaatst.