근적외선(NIR) 방출 전구

공정 현장에서의 열 드리프트 포토레지스트 베이크 또는 웨이퍼 건조 중 열 드리프트는 단순히 처리량을 저하시키는 문제가 아닙니다. 이는 중요한 치수를 변화시키고 조용히 수율을 감소시킵니다. 우리는 열 거동을 예측 가능하게 유지하기 위해 가까운 적외선(NIR) 방출 전구...