なぜ、私たちが大きなオーブンを使わずにIR硬化法を採用するのか？
正直に言うと、昔ながらの対流式オーブンは本当に面倒なものです。大きくて遅く、作業を行うために多くの化学物質が必要です。環境規制や鉛フリー部品への要請もあって、昔のやり方ではもはや十分ではありません。
だからこそ、ますます多くの製造工場が赤外線硬化ランプを利用するようになっています。
従来のオーブンでは、巨大な金属箱全体を加熱し、その中の空気も一緒に温める必要があります。これは無駄なエネルギーの消費です。一方、IR硬化法では、電磁波を使って直接基材を加熱します。部屋全体を温めるのではなく、実際に加工される部分だけを温めるのです。
これは電気代を大幅に節約できる方法です。
短波または中波の放射体を使えば、樹脂だけを的確に加熱できるので、無駄なエネルギーの消費を防げます。乾燥時間も短縮され、大気を温めるためのコストも削減できます。
また、鉛フリーはんだを使用する場合、温度管理が非常に重要です。少しでも間違えるとウェーハが変形したり、適切な温度に達しなかったりします。
IRランプは「瞬時に起動」します。実時間で出力を調整して、正確な温度に設定できます。オーブンが冷却するのに時間がかかってしまい、過度に加熱される心配もありません。本当に精密です。
でも、これが魔法の解決策だとは言いません。何かしらの妥協点はあります。
IR硬化法は強力です。コンベヤーベルトの速度が遅すぎたり、出力が高すぎたりすると、フォトレジストが焼けてしまいます。冷却ファンやシールド装置を適切に調整する必要があります。少し手間がかかりますが、その努力は報われます。
さらに、IR硬化法に切り替えることで、有害な溶剤系の乾燥剤を捨てることができます。これにより、環境にも優しく、エンジニアたちの環境規制に関する書類作成もずっと簡単になります。
単純に、理にかなった代替手段です。