چرا از روش گرمایش با هوای داغ، به روش گرمایش مادون قرمز در تجهیزات نیمههادی استفاده میکنیم؟
اگر تجربه کار در محیطهای پردازش حساس را داشتهاید، میدانید که انتظار برای گرم شدن تجهیزات، کاری طولانی و آزاردهنده است.
استفاده از هوای داغ، مانند استفاده از یک دستگاه گرمایشی در راهرو است؛ هوا گرم میشود، سپس آن هوا تجهیزات را گرم میکند. این روش بسیار آهسته است.
اما روش گرمایش مادون قرمز متفاوت است؛ این روش اصلاً از هوا استفاده نمیکند، بلکه انرژی را مستقیماً به تجهیزات منتقل میکند.
این روش بسیار سریع است.
در محیطهای پاک، هوا دشمن اصلی است؛ برای جابجایی هوای گرم بدون ایجاد ذرات در هوا، نیاز به لولههای بزرگ و فیلترهای زیادی وجود دارد. این کار بسیار پیچیده است.
اما با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانیم از این مشکلات جلوگیری کنیم؛ ما از امیترهای موج کوتاه یا موج متوسط برای انتقال انرژی مستقیماً به تجهیزات استفاده میکنیم. دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن کل اتاق باشیم؛ ما مستقیماً تجهیزات را گرم میکنیم. این روش باعث کاهش زمان لازم برای گرم شدن تجهیزات به ۶۰ تا ۸۰ درصد میشود؛ این میزان زمان، در یک روز کاری، بسیار مهم است.
اما توجه داشته باشید که این روش آنقدر ساده نیست؛ باید با چگالی حرارتی بالا کنار بیاییم. ما معمولاً از غلافهای کوارتزی استفاده میکنیم؛ زیرا این غلافها گازی را خارج نمیکنند و در نتیجه، محیط پاک حفظ میشود.
نکته مهم این است که باید «سایههای حرارتی» را کنترل کنیم؛ چون امواج مادون قرمز در خط مستقیم حرکت میکنند، اگر چیدمان تجهیزات مانع دید شود، نقاط سردی ایجاد میشود. هیچ کس نمیخواهد که نیمی از ویفرها کاملاً گرم باشند و نیمی دیگر کمدما باشند. ما این مشکل را با تنظیم زاویه لامپها حل میکنیم؛ این کار باعث میشود که حرارت به طور یکنواخت به تجهیزات برسد، بدون اینکه بدنه تجهیزات ذوب شود.
بهترین چیز این است که فضای مورد نیاز برای نصب تجهیزات کاهش مییابد؛ میتوانیم از بلوئرها و تبادلکنندههای حرارتی بزرگ خودداری کنیم.
فقط یک نکته در مورد نگهداری تجهیزات: لامپهای مادون قرمز برای همیشه کار نمیکنند؛ آنها مانند سیمهای گرمایشی معمولی نیستند که تا زمان خراب شدن کار کنند؛ این لامپها کمکم کمکارتر میشوند.
اگر برنامهریزی دقیقی برای تعویض لامپها نداشته باشید، دمای تجهیزات دچار نوسان خواهد شد؛ این موضوع را میتوانید در نتایج کاری خود مشاهده کنید؛ این نوسانات، پیگیری آنها را دشوار میکند. با استفاده از کنترلکنندههای PID، میتوانید از این مشکلات جلوگیری کنید.