جلوگیری از آلوده شدن ویفرها در حین شستشو با بار بالا
بیایید دربارهی سناریوی وحشتناکی صحبت کنیم که میتواند در فرآیند خشک کردن نیمههادیها رخ دهد: پارگی لامپ IR.
اگر در حین انجام فرآیندهایی با بار بالا، لامپ منفجر شود، شما فقط با یک لامپ خراب مواجه نخواهید بود؛ بلکه تکههای شیشهای و مواد شیمیایی نیز روی ویفرها خواهند ریخت. این موضوع میتواند به تخریب کل دسته ویفرها منجر شود. ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این اتفاق کردهایم.
مشکلات ناشی از شوک حرارتی
وقتی که سعی میکنیم تولید را افزایش دهیم، به گرما نیاز داریم – و این گرما باید سریع فراهم شود. اما مشکل اینجاست که وقتی آب سرد روی لولههای کوارتزی داغ میریزد، تغییرات دما بسیار شدید خواهد بود.
لامپهای معمولی نمیتوانند این نوع فشار را تحمل کنند؛ بنابراین آنها خراب میشوند.
برای حل این مشکل، از کوارتز با دیواره ضخیم استفاده میکنیم؛ همچنین یک درپوش ضدآب ویژه نیز در انتهای لامپ قرار میدهیم. این کار از ورود رطوبت به داخل لامپ جلوگیری میکند؛ که معمولاً باعث قطع سیمهای الکتریکی یا سوختن فیلامنت لامپ میشود.
ایجاد سیستم ایمنی
ما فقط امیدوار نیستیم که لامپ سالم بماند؛ بلکه آن را در یک پوشش محافظتی قرار میدهیم.
میتوانید آن را مانند یک مانع فیزیکی در نظر بگیرید؛ اگر عنصر گرمایشی داخلی لامپ خراب شود، پوشش بیرونی همه چیز را جذب خواهد کرد. در نتیجه، ویفرها تمیز خواهند ماند. این روش سادهای برای جلوگیری از شکست تولید است.
معایب و راههای مقابله با آنها
البته، استفاده از لایه کوارتز اضافی باعث میشود که بخشی از تشخیص امواج مادون قرمز مسدود شود؛ بنابراین شدت نور لامپ کمتر خواهد بود.
اما این مشکل راحت قابل حل است؛ کافی است توان لامپ را افزایش دهیم تا همچنان بتوانیم سرعت تولید را حفظ کنیم. تنها نکتهای که باید در نظر بگیرید این است که مطمئن شوید منبع تغذیه میتواند بار اضافی را تحمل کند؛ تا زمان تولید دچار تغییر نشود.
یک نکته دیگر: از کنترل PID دقیق استفاده کنید. اگر فقط توان لامپ را بالا و پایین کنید، فیلامنت لامپ خراب خواهد شد. مهم نیست که درپوش لامپ چقدر ضدآب باشد؛ فیزیک حرارت همچنان میتواند به فیلامنت لامپ آسیب برساند.