چگونه فرآیند خشک کردن ویفرها را در یک کارخانه هوشمند به درستی انجام دهیم؟
اگر شما صاحب یک کارخانه هوشمند هستید، میدانید که همه چیز بستگی به دادهها دارد. اما در مورد فرآیند خشک کردن ویفرها، دادهها تنها تا حدی میتوانند کمک کنند؛ اگر سختافزار مورد استفاده، انرژی را به طور بیهدف در اطراف ویفر تولید کند. شما نمیخواهید سیستمی داشته باشید که فقط انرژی را در داخل محفظه تولید کند؛ بلکه میخواهید سیستمی داشته باشید که انرژی را به درستی هدایت کند.
در اینجاست که بازتابندهها نقش مهمی ایفا میکنند. آنها مطمئن میشوند که تشعشعات مادون قرمز ناشی از لامپها، مستقیماً به ویفر برخورد کند و نه فقط هوای اطراف آن را گرم کند.
جلوگیری از هدررفت انرژی
نکته مهم این است که اگر از لامپهای خشککن بدون بازتابنده استفاده کنید، در واقع نیمی از انرژی خود را هدر میدهید.
ما از بازتابندهها برای بازتاب دادن تشعشعات مادون قرمز به سمت ویفر استفاده میکنیم. در یک سیستم دیجیتال، این کار بسیار مفید است؛ زیرا میتوانید میزان انرژی مورد نیاز را کاهش دهید، اما همچنان دمای مورد نظر روی سطح ویفر را حاصل کنید. در نتیجه، شبکه برق شما در سلامت باقی میماند و بدنه دستگاه نیز به یک فر نمیتبدیل شود.
جزئیات مربوط به مواد
بسته به طول موجی که از آن استفاده میکنید، ما از الومینیوم با خلوص بالا یا سطوح پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. هدف این است که توزیع حرارت بهینه شود.
وقتی این روش با سنسورهای صنعت ۴.۰ همکاری کند، همه چیز به خوبی پیش میرود؛ توزیع حرارت قابل پیشبینی میشود. در نتیجه، میتوانید دمای ویفر را به راحتی اندازهگیری کنید.
واقعیت: چه اتفاقی میافتد؟
البته، یک مشکل وجود دارد: سیستمهای با بازتاب بالا، انرژی زیادی را در فضای کوچکی تولید میکنند. این امر سرعت فرآیند خشککردن را افزایش میدهد؛ اما فشار زیادی بر فنهای خنککننده وارد میشود. نمیتوانید این سیستمها را در دستگاههای قدیمی استفاده کنید و امیدوار باشید که همه چیز خوب پیش برود. باید مطمئن شوید که جریان هوا بتواند این حرارت زیاد را مدیریت کند.
همچنین، باید مراقب تنظیمات سیستم باشید؛ اگر زاویه بازتابندهها حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، نقاط گرم ایجاد خواهد شد. این امر منجر به خشککردن ناهموار وایفر و کاهش بازدهی تولید میشود.
توصیه من این است که هر بار که لامپ را عوض میکنید، آن را به دقت تنظیم کنید. این کار یک دقیقه طول میکشد، اما به حفظ ثبات فرآیند تولید کمک میکند.