سعی در حفظ سرمای داخل تجهیزات نیمهرسانایی، در حالی که گرمای ناشی از فرآیندهای تولید افزایش مییابد، کاری بسیار دشوار است. اکثر گرمکنهای معمولی، گرما را به همه جا پخش میکنند؛ این موضوع مانند قرار دادن یک گرمکن درون یک جعبه کارتنی است؛ در نهایت، کل بدنه تجهیزات مانند یک رادیاتور عمل میکند. در نتیجه، تجهیزات گرانقیمت دچار گرمای بیش از حد میشوند و کارکنان نیز نگران سوختگی شدن پوست خود میشوند.
ما راه بهتری پیدا کردیم: استفاده از گرمکنهای مادون قرمز جهتدار.
در این روش، به جای اینکه گرما به طور تصادفی پخش شود، از لامپهای مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میشود؛ این لامپها انرژی را دقیقاً در همان محلی که لازم است، یعنی مستقیماً روی ویفر یا سطح مورد نظر، تخصیص میدهند.
این روش مانع از افزایش بیش از حد دمای بدنه تجهیزات میشود؛ شما میتوانید انرژی حرارتی مورد نیاز خود را در همان نقطه دریافت کنید، در حالی که بقیه قطعات تجهیزات سرد باقی میمانند. دیگر نیازی نیست نگران سوختگی پوست کارکنان باشید.
اما نمیتوانید هر سیمی را در این محل استفاده کنید؛ اگر از سیمهای PVC معمولی استفاده کنید، آنها در عرض چند هفته خراب یا ذوب خواهند شد. این سیمها برای این کار مناسب نیستند. به همین دلیل، ما از سیمهای پوشیده شده با تفلون (PTFE) استفاده میکنیم؛ این سیمها میتوانند در برابر گرمای بالا مقاومت کنند و حتی در صورت تماس با مواد شیمیایی، کار خود را ادامه میدهند.
البته، باید در طراحی سیمها دقت کنید؛ حتی تفلون نیز محدودیتهایی دارد. اگر سیم به طور تصادفی به پوسته کوارتز لامپ برخورد کند، کار تمام خواهد شد. بنابراین، باید سیمها را به گونهای طراحی کنید که هیچ چیز مستقیماً در مسیر گرما قرار نگیرد.
وقتی که سیستمهای محافظتی و بازتابندهها به درستی تنظیم شوند، گرما دقیقاً به همان محلی که میخواهید، خواهد رفت. در نتیجه، سیستمهای تهویه مطبوع تجهیزات میتوانند استراحت کنند، و شما دیگر نیازی نیست نگران «دیوارهای گرم» باشید که باعث مشکلات زیادی در طراحی تجهیزات میشوند.