¿Por qué dejamos de usar aire caliente y pasamos a utilizar la tecnología IR en los sistemas de calentamiento para semiconductores?
Si has trabajado en entornos de procesamiento avanzado, sabes lo que significa tener que esperar. Usar circulación de aire caliente es como intentar calentar una casa con un calentador de aire en el pasillo: primero se calienta el aire, luego ese aire calienta el carro en el que se encuentran las obleas. Finalmente, las obleas se calientan. Es un proceso muy lento.
La calefacción por infrarrojos es diferente. No afecta al aire en absoluto; simplemente envía energía radiante directamente hacia el objetivo. Es rápido. Realmente rápido.
En una sala limpia, el aire es tu enemigo. Para mover el aire caliente sin dispersar partículas por todas partes, se necesitan conductos enormes y filtros interminables. Es un verdadero problema.
Con lámparas IR, podemos evitarse todo esto. Utilizamos emisores de onda corta o media para enviar energía directamente hacia las piezas a calentar. No hay necesidad de esperar a que toda la sala se caliente; simplemente se calientan las piezas en sí. Esto reduce el tiempo de calentamiento en un 60% hasta un 80%. Eso representa mucho tiempo ahorrado en un día de trabajo.
Pero atención: no es tan sencillo como simplemente reemplazar el calentador. Aquí estamos hablando de alta densidad de calor. Por eso, generalmente utilizamos envoltorios de cuarzo, ya que no liberan gases dañinos en el ambiente limpio.
El verdadero desafío es manejar las “zonas frías”. Dado que los rayos infrarrojos viajan en línea recta, si el diseño del carro bloquea la vista, surgirán zonas frías. Nadie quiere que medio lote de obleas esté bien calentado y el otro medio no. Para solucionarlo, ajustamos la posición de las lámparas de forma que el calor llegue a todas las partes, sin dañar el chasis del carro.
Lo mejor de todo: el espacio disponible se reduce. Puedes prescindir de esos soplers y intercambiadores de calor voluminosos. Todo queda más compacto.
Un consejo sobre el mantenimiento: las lámparas IR no duran para siempre. No son como los resistores normales, que siguen funcionando hasta romperse. Estas lámparas pierden intensidad con el tiempo. Si no mantienes un registro preciso de sus revisiones, las temperaturas podrían cambiar. Lo notarás primero en los resultados de los lotes: inconsistencias que son difíciles de resolver. Combina este sistema con controladores PID para mantener todo estable. Así, todo funcionará perfectamente.