Sledujte, jak výsledný čip vychází z kola konečného oplachování – v tu chvíli začíná tikat časovač. Konvenční sušení, při kterém je rozdíl teploty na povrchu čipu dokonce jen 0,5 °C, může způsobit napětí v vrstvách kůže čipu, defekty v fotorezistu a usazení nečistot. Náš ultra-přesný termální systém sušení je navržen s ohledem na jedno hlavní kritérium: rovnoměrnost teploty ±0,1 °C na celém povrchu čipu během každého cyklu.
Co je důležité pod pokličkou
Jádrem systému je termální modul vhodný pro použití v čistých prostorách, bez nečistot, který zajišťuje rovnoměrnost teploty ±0,1 °C na celé ploše čipu. Řízení pomocí uzavřené smyčky využívá senzory vysoké přesnosti a proudění vzduchu s nízkou turbulencí, aby se eliminovaly „horké body“ a „chladné okraje“. Díky tomu dostanete opakovaně správné teplotní profile, které zůstávají v rozmezí potřebném pro zpracování fotorezistu – bez překročení limitů nebo odchylek. Energetické údaje sledujeme v reálném čase, abyste viděli energetickou náročnost každé série výrobků, každého nástroje a každé směny.
Proč je to důležité v litografií a zpracování fotorezistu?
Rovnoměrnost teploty je klíčová pro kontrolu kritických rozměrů a pro zvýšení výtěžnosti výroby. Pokud udržíte povrch čipu v požadovaných parametrech, snížíte množství oprav a odpadu. Energetický audit vám umožňuje přijmout opatření – snížit proudění vzduchu bez ztráty rovnoměrnosti, zkrátit dobu sušení, aniž by to ovlivnilo dosažení požadovaných teplot, a plánovat údržbu předtím, než se objeví odchylky. Výsledkem jsou méně nečistot, stabilní šířka linií a nižší energetická náročnost na jeden čip.
Několik praktických poznámek
Modul vyžaduje napájení a odvětrávání odpovídající standardům čistých prostor třídy 1–100. Připojuje se k vašim stávajícím řídicím systémům prostřednictvím standardních rozhraní. Vyhraďte si trochu času na kalibraci parametrů podle typu fotorezistu a profilů sušení. Jedna omezení: tak vysoká rovnoměrnost teploty znamená menší prostor pro změny okolního prostředí, proto je potřeba udržovat stabilní podmínky v místě použití.
Výhody
Díky tomuto systému máte jistotu opakovanosti procesu – plus informace o energetické náročnosti, které vám pomohou lépe řídit proces výroby.