Stránky obsahující taxonomický termín “Bake” Topné těleso pro postexpoziční vypalování (PEB) Na lithografické lince se kontrola šířky čáry vyhrává nebo prohrává při post-exposure bake (PEB). Posun teploty o pouhé dva stupně nebo... čti dále
Topné těleso pro postexpoziční vypalování (PEB) Na lithografické lince se kontrola šířky čáry vyhrává nebo prohrává při post-exposure bake (PEB). Posun teploty o pouhé dva stupně nebo... čti dále