Na podlaze, 24/7 – továrna prostě nemůže snést žádné teplotní výkyvy. Jeden z topných prvků začne fungovat špatně, a teploty potřebné k procesům měkkého a tvrdého zahřívání okamžitě překročí stanovené hodnoty. Tolerance v litografii se zhoršují. Wafery musí být zahozeny. Termínový plán se narušuje. Instalujeme náhradní topný prvek Axcelis, abychom tuto situaci odstranili hned na začátku.
Co je z technického hlediska důležité
Tento topný prvek je navržen tak, aby zajistil teplotní rovnoměrnost na úrovni waferu – teplota zůstává v rozmezí ±0,1 °C od nastavené hodnoty. Kvartová konstrukce a schopnost reagovat na krátkovlnné infračervené záření zajišťují rychlé a opakovatelné zahřívání s minimálními výkyvy – právě to potřebujete pro udržení stabilních teplot v pokročilých fotorezistech. Je vhodný pro použití v čistých prostorách tříd 1–100, nevytváří žádné částice a jeho povrch odolává agresivním čisticím prostředkům. Očekávejte dlouhou životnost: více než 5 000 hodin při normálním provozu, s odchylkou teploty nižší než 5%.
Proč vydrží v litografické lince
V velkovýrobní litografii je jedině přijatelnou spolehlivostí absence neplánovaných přerušení v provozu. Tento náhradní prvek zaručuje opakovatelnost procesů během měkkého a tvrdého zahřívání, takže nedochází k výkyvům teploty. Výsledkem jsou stabilní teplotní profily, méně oprav a nižší spotřeba energie díky efektivnímu a kontrolovanému přenosu tepla. Instalujte ho, vyměňte ho, když je to potřeba, a pokračujte v provozu – bez potřeby ladění, bez překvapení.
Na co si dát pozor
Ujistěte se, že topný prvek odpovídá konkrétní verzi zařízení Axcelis, výkonu, napětí a rozhraní konektoru. Pokud jsou tolerance spojení nebo montáže nesprávné, dojde ke zhoršení rovnoměrnosti teploty a sníží se tak životnost kontaktů. Po instalaci znovu ověřte teplotní mapování v komoře a zkontrolujte polohu senzoru teploty vzhledem k topnému prvku. I malá odchylka může způsobit, že teplotní profil nepřesáhne požadované hodnoty.