http://ir-heater-cozy.com/zh/tags/%E5%AE%A1%E8%AE%A1/ Recent content in 审计 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo zh Mon, 29 Jun 2026 02:45:02 +0800 http://ir-heater-cozy.com/zh/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Mon, 29 Jun 2026 02:45:02 +0800 http://ir-heater-cozy.com/zh/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="工厂干燥系统的能源审计"></p> <p>可以看到，晶圆在完成最终冲洗后便会被取出。从它离开水面的那一刻起，计时就开始了。如果传统干燥方式无法使晶圆表面的温度保持均匀，哪怕只有0.5°C的偏差，都可能引发晶圆表面应力问题、光刻胶熔化缺陷，以及颗粒附着等问题。我们设计的超精密干燥系统，其核心目标就是确保每次循环中，整个晶圆表面的温度都能保持在±0.1°C的范围内。</p>