用于冲洗的防水红外线灯

如何避免在高负载清洗过程中导致晶圆污染 让我们来谈谈半导体干燥过程中的最糟糕情况：红外灯发生破裂。如果在高负载运行时灯光破裂，那可不仅仅是灯泡坏了那么简单。玻璃碎片和化学物质会溅到晶圆上，这无疑会对晶圆造成严重破坏。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况的发生。 热冲击带来的问题 当需要高速生产时...