http://ir-heater-cozy.com/vi/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo vi Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/vi/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/vi/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Bộ gia nhiệt sau khi phơi sáng (PEB)"></p> <p>Trên sàn <a href="https://o-yate.com">lithography</a>, việc kiểm soát kích thước đường nét được quyết định <a href="https://goldisgood.com">trong</a> giai đoạn post-exposure bake. Độ lệch nhiệt độ chỉ vài độ, hoặc sự không đồng đều trên toàn bộ <a href="https://o-yate.net">wafer</a>, sẽ dẫn đến các sai số CD và phế phẩm. Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt PEB để loại bỏ sự biến động này khỏi phương trình.</p> <p><strong>Điều quan trọng bên trong</strong></p> <p>Chúng ta đang nói đến sự đồng đều nhiệt độ trên bề mặt bake ở mức ±0.1°C trên toàn wafer, và độ chính xác nhiệt độ của lớp photoresist giữ trong phạm vi ngân sách nhiệt chặt chẽ mà quy trình yêu cầu. Thiết kế sử dụng các phần tử hồng ngoại sóng ngắn để truyền năng lượng nhanh và sạch, giúp tốc độ tăng nhiệt nhanh mà không bị vượt quá nhiệt độ mục tiêu.</p>