Bóng đèn phát xạ hồng ngoại gần (NIR)

Fri, 05 Jun 2026 01:22:56 +0800

Trên sàn sản xuất, sự trôi nhiệt trong quá trình nướng photoresist hoặc làm khô wafer không chỉ là kẻ giết chết năng suất. Nó làm thay đổi kích thước quan trọng và âm thầm làm giảm năng suất. Chúng tôi đã chế tạo bóng phát NIR (gần hồng ngoại) của mình để giữ cho hành vi nhiệt độ có thể dự đoán, từ chu kỳ này sang chu kỳ khác.
Điều gì quan trọng bên trong
NIR mang lại sự gia nhiệt thể tích với độ quán tính nhiệt thấp, vì vậy bề mặt bóng đèn vẫn mát hơn ngay cả khi năng lượng truyền vào phim hoặc chất nền. Điều này có nghĩa là thời gian tăng nhiệt nhanh hơn và thời gian làm mát nhanh hơn, cắt giảm thời gian ở trạm mà không mất kiểm soát. Trên toàn bộ khu vực chiếu sáng, độ đồng nhất cấp wafer giữ ở ±0.1°C, và khả năng lặp lại vẫn vững chắc trong hoạt động 24/7. Vỏ quartz và hình học bên trong được điều chỉnh cho việc sử dụng trong phòng sạch loại 1–100, với thiết kế đã được chứng minh trong quy trình giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không. Đầu ra giữ ổn định trong hơn 5,000 giờ, với sự dịch chuyển phổ tối thiểu có thể làm sai lệch độ nhạy của photoresist và hồ sơ chữa bệnh.
Tại sao điều này lại phù hợp trong các quy trình thực tế
Trong lithography, bạn cần một quá trình nướng mềm nhất quán để khóa độ dày của phim và giảm thiểu sóng đứng. Trong đóng gói, bạn cần sự chữa bệnh giữ trong khoảng cho phép—không có sự vượt quá làm tách lớp. Bóng đèn NIR của chúng tôi cung cấp độ chính xác nhiệt độ và tốc độ phản hồi để đạt được các mục tiêu đó một cách đáng tin cậy. Quá trình làm khô và làm sạch wafer hoàn thành nhanh hơn, với độ ẩm dư thừa ít hơn và rủi ro sụp đổ mẫu thấp hơn. Năng lượng sử dụng giảm vì bóng đèn làm nóng mục tiêu, không phải là tường buồng. Lợi ích là ít lô phế phẩm hơn, kiểm soát kích thước quan trọng ổn định và các khoảng thời gian bảo trì mà bạn có thể lên kế hoạch.
Những điều cần chú ý khi triển khai
NIR tự nhiên là đường ngắm, vì vậy việc căn chỉnh thiết bị và khoảng cách đến mục tiêu phải giữ trong các dung sai chặt chẽ. Việc tích hợp cần chú ý đến hình học phản xạ và che chắn để ngăn chặn các điểm nóng trên các vật liệu lân cận. Lập kế hoạch quản lý nhiệt xung quanh ổ cắm, và xác nhận tính tương thích với exhaust và hồ sơ rung động của buồng của bạn. Khi những chi tiết đó được xử lý, bóng đèn hoạt động theo đúng thông số—đáng tin cậy, sạch sẽ và có thể lặp lại.

Bóng Đèn on Cozy Infrared Heating Solutions

Bóng đèn phát xạ hồng ngoại gần (NIR)