Trên sàn lithography, việc kiểm soát kích thước đường nét được quyết định trong giai đoạn post-exposure bake. Độ lệch nhiệt độ chỉ vài độ, hoặc sự không đồng đều trên toàn bộ wafer, sẽ dẫn đến các sai số CD và phế phẩm. Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt PEB để loại bỏ sự biến động này khỏi phương trình.
Điều quan trọng bên trong
Chúng ta đang nói đến sự đồng đều nhiệt độ trên bề mặt bake ở mức ±0.1°C trên toàn wafer, và độ chính xác nhiệt độ của lớp photoresist giữ trong phạm vi ngân sách nhiệt chặt chẽ mà quy trình yêu cầu. Thiết kế sử dụng các phần tử hồng ngoại sóng ngắn để truyền năng lượng nhanh và sạch, giúp tốc độ tăng nhiệt nhanh mà không bị vượt quá nhiệt độ mục tiêu.
Được chế tạo cho phòng sạch Class 1–100, vỏ máy và các bộ phận bên trong được thiết kế để không sinh ra hạt bụi, duy trì mức độ ô nhiễm thấp qua nhiều chu kỳ. Độ tin cậy được đảm bảo nhờ cấu trúc nhiệt đơn giản và vòng điều khiển ổn định, với các thiết bị đã được chứng minh vận hành hàng chục ngàn chu kỳ với sự sai lệch nhiệt tối thiểu.
Tại sao điều này quan trọng trên dây chuyền
Trong các nhà máy có sản lượng cao, khả năng lặp lại của PEB là ranh giới giữa năng suất ổn định và các lần dừng máy liên tục. Các bộ gia nhiệt này cung cấp độ ổn định nhiệt cần thiết cho các node tiên tiến, nơi mà ngay cả những thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng làm lệch CD và gây lỗi tham số bề mặt.
Kết quả là sự phân bố kích thước đồng đều hơn trên toàn bộ lô, giảm thiểu việc làm lại, và thời gian bake có thể dự đoán được. Lợi ích là hiệu suất lithography ổn định, giảm phế phẩm và kế hoạch sản xuất hàng ngày được duy trì ổn định.
Những điều bạn cần biết ngay từ đầu
Bộ gia nhiệt là sự thay thế trực tiếp và tương đương theo tiêu chuẩn thiết bị bán dẫn quốc tế, nhưng các chi tiết tích hợp vẫn cần được lưu ý. Đảm bảo hình dạng buồng, giao diện gắn kết và nguồn điện phù hợp với kích thước và thông số điện của chúng tôi.
Việc hiệu chỉnh nhanh chóng—chỉ đủ để điều chỉnh các profile tăng nhiệt phù hợp với lớp photoresist của bạn. Khi đã thiết lập, thiết bị hoạt động về mặt nhiệt giống như thiết bị gốc, mà không cần bạn phải viết lại công thức quy trình.