Việc duy trì nhiệt độ ổn định bên trong các thiết bị bán dẫn trong khi vẫn phải tạo ra lượng nhiệt lớn để thực hiện quy trình sản xuất là một thách thức khó khăn. Hầu hết các bộ sưởi thông thường chỉ tạo ra nhiệt ở khắp mọi nơi. Điều này giống như việc đặt máy sưởi vào trong một chiếc hộp bìa cứng – rồi cuối cùng toàn bộ thiết bị sẽ trở thành một “bộ tản nhiệt” lớn. Các thiết bị đắt tiền của bạn sẽ bị quá nhiệt, và người vận hành cũng lo lắng về nguy cơ bị bỏng.
Chúng tôi đã tìm ra một giải pháp tốt hơn: sử dụng công nghệ sưởi bằng tia hồng ngoại có hướng đi cụ thể. Thay vì để nhiệt lan tỏa một cách ngẫu nhiên, chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại tia ngắn. Những bóng đèn này giúp truyền năng lượng chính xác vào vị trí cần thiết – trực tiếp vào tấm wafer hoặc bề mặt được xử lý.
Điều này giúp tránh tình trạng nhiệt tích tụ gây hại cho các bộ phận của thiết bị. Bạn có thể nhận được lượng nhiệt cần thiết tại điểm cần xử lý, trong khi các bộ phận còn lại vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Không còn nguy cơ làm hỏng bề mặt thiết bị nữa.
Nhưng bạn không thể sử dụng bất kỳ loại dây điện nào cả. Nếu sử dụng dây điện PVC thông thường, chúng sẽ bị nứt hoặc tan chảy trong vài tuần. Loại dây này không thể chịu được những tác động nhiệt khắc nghiệt như vậy. Vì vậy, chúng tôi sử dụng dây điện được phủ lớp Teflon (PTFE). Loại dây này có thể chịu được những tác động nhiệt khắc nghiệt, và vẫn giữ được độ linh hoạt khi tiếp xúc với hóa chất. Ngay cả khi bị tác động bởi tia hồng ngoại, dây này vẫn giữ được độ linh hoạt và hoạt động bình thường.
Tuy nhiên, bạn vẫn cần phải lập kế hoạch cẩn thận về cách sắp xếp dây điện. Ngay cả Teflon cũng có giới hạn của nó. Nếu dây điện vô tình chạm vào lớp thủy tinh bao quanh bóng đèn trong lúc nó đang hoạt động, thì mọi thứ sẽ kết thúc. Bạn cần sắp xếp dây điện sao cho chúng không chạm trực tiếp vào nguồn nhiệt.
Khi mọi thứ được sắp xếp đúng cách, nhiệt sẽ được truyền đến đúng vị trí cần thiết. Lúc đó, hệ thống điều hòa không khí trong nhà máy của bạn có thể nghỉ ngơi, và bạn cũng không còn phải lo lắng về tình trạng “tường nóng” gây khó khăn trong việc vận hành các thiết bị nữa.